क्लास 100 क्लीनरूम को वास्तव में साफ रखना
जब आप क्लास 100 क्लीनरूम चलाते हैं, तो गर्मी पैदा करना एक बड़ी समस्या होती है। यहाँ मामला तापमान का नहीं, बल्कि अदृश्य कणों का है।
सामान्य आईआर लैंप इस मामले में बहुत ही खराब होते हैं। ऐसे लैंपों से छोटे-छोटे धातुओं के कण निकलते रहते हैं। अगर ऐसे कण किसी वेफर या ऑप्टिकल कोटिंग पर गिर जाएं, तो आपने बहुत सारा पैसा बर्बाद कर दिया।
हमने इस समस्या का समाधान उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज ट्यूबों का उपयोग करके किया। यहीं पर इसका कार्य-तंत्र है।
उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग
हम सिंथेटिक, उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि यह उच्च तापमान पर भी खराब नहीं होता। अगर सामान्य काँच का उपयोग किया जाए एवं उसे 1000°C तक गर्म किया जाए, तो वह या तो टूट जाएगा, या फिर उससे वोलेटाइल ऑर्गेनिक कंपाउंड्स निकलने लगेंगे… जो कि क्लीनरूम के लिए अच्छा नहीं है।
ऐसे लैंपों में एकाग्र शॉर्टवेव स्पेक्ट्रम का उपयोग किया जाता है… दूसरे शब्दों में, गर्मी सीधे लक्ष्य तक पहुँच जाती है… इससे आसपास की हवा गर्म नहीं होती… इसलिए कमरे का तापमान ठीक वैसा ही रहता है जैसा आप चाहते हैं।
सीरामिक एंड कैप्स का महत्व
एंड कैप ही वह जगह है जहाँ समस्याएँ होती हैं… धातु के कैप्स समय के साथ ऑक्सीकृत होकर टूट जाते हैं…
हम उच्च-गुणवत्ता वाले सीरामिक कैप्स का ही उपयोग करते हैं… ऐसे कैप्स क्वार्ट्ज की तरह ही सिकुड़ते/फैलते हैं… इसलिए तापमान में परिवर्तन होने पर भी सील टूटती नहीं है…
इसके अलावा, ऐसे सीरामिक कैप्स से कोई गैस नहीं निकलती… इससे हैलोजन गैस अंदर ही रहती है…
कुछ बातें ध्यान में रखने योग्य हैं…
आप इन कैप्स को अपने मौजूदा लैंपों में आसानी से लगा सकते हैं… लेकिन ध्यान रखें… उच्च-शुद्धता वाला क्वार्ट्ज, सामान्य काँच की तुलना में अधिक भंगुर होता है…
अगर माउंटिंग ब्रैकेट बहुत टाइट हों, तो ट्यूब टूट सकती है… ट्यूबों को थोड़ी जगह दें… थोड़ी सी सहनशीलता ही सब कुछ ठीक रखने में मदद करेगी…
इसके अलावा, अपने पावर सप्लाई का ध्यान रखें… ऐसे लैंपों को अपनी भौतिक सीमाओं तक ही काम करना होता है… इसलिए वोल्टेज में थोड़ा भी बदलाव होने से ट्यूब टूट सकती है… अपने PID कंट्रोलरों को ठीक से सेट करें… ताकि तापमान नियंत्रित रहे।