En ce qui concerne la lithographie OLED, cette technologie ne laisse aucune marge d’erreur en termes de dérive thermique. Une chaleur insuffisante peut entraîner une déviation de ±0,5 °C par rapport à la valeur cible ; cela provoque des variations dans l’uniformité du CD, ainsi que des problèmes avec les profils du réactif utilisé pour l’etching. Il est donc nécessaire d’utiliser une lampe de séchage qui reste stable, sans varier avec les conditions extérieures.
Ce que nous avons construit, et pourquoi Nous avons installé une lampe de séchage OLED équipée d’émetteurs à infrarouges à ondes courtes, au sein d’un boîtier en quartz. Cela permet une transmission rapide et directe de l’énergie au réactif, tout en minimisant le réchauffement du substrat. L’arrangement des éléments chauffants garantit que la température reste stable entre ±0,1 °C sur toute la surface de la puce. La reproductibilité est de 0,05 °C d’un cycle à l’autre.
Le système est conçu pour être utilisé dans des salles propres de classe 1–100. Nous avons vérifié qu’il ne génère aucune particule, grâce à un suivi en temps réel. Le contrôle se fait en boucle fermée, en utilisant un pyromètre calibré et une compensation de l’émissivité, afin de mesurer la température à la surface du réactif, et non à l’intérieur du boîtier de la lampe.
Pourquoi ce système fonctionne bien dans les usines OLED Lors des étapes de séchage des réactifs OLED, le contrôle thermique est crucial. Si la température est trop basse, les solvants ne s’évaporent pas correctement. Si elle est trop élevée, les gaz produits causent des défauts qui affectent directement le processus de façonnage. Cette lampe permet de maintenir une température précise à chaque cycle, ce qui assure une stabilité de la qualité du produit.
La vitesse de montée en température permet de réduire le temps nécessaire pour le séchage, ce qui augmente la productivité sans augmenter les températures maximales. Ce système est efficace : une haute conversion électrique en énergie rayonnante, ainsi qu’une faible masse thermique, permettent de réduire les coûts énergétiques et les pertes de chaleur dans la salle propre. Sa fiabilité lui permet de fonctionner 24/7, avec des données montrant des milliers d’heures de fonctionnement stable.
Ce que vous devez prendre en compte La lampe est compacte, mais elle nécessite un système d’évacuation adapté, ainsi qu’une alimentation électrique fiable, afin de maintenir ses performances stables. Si vous l’intégrez dans des systèmes existants, prévoyez de devoir gérer des adaptateurs mécaniques et de contrôle. Vérifiez bien les connecteurs, le boîtier de montage et les interfaces de commande avant de procéder à l’intégration.
Exécutez une série de tests pour ajuster le profil de séchage en fonction de vos besoins, puis fixez ces paramètres.