Arrêtez de vous inquiéter de la contamination dans vos installations de séchage
Lorsque vous travaillez dans une salle propre de classe 100, il n’y a place pour aucune erreur. Un seul petit grain de poussière ou une légère émission de gaz provenant d’un élément chauffant bon marché peut détruire vos wafer en silicium. C’est un scénario cauchemardesque.
C’est pourquoi nous avons opté pour des lampes à infrarouges en quartz synthétique de haute pureté.
Pourquoi le quartz fonctionne bien
Nous utilisons du silice fusionnée, débarrassée de presque toutes les impuretés. Pourquoi ? Parce que lorsque les températures deviennent très élevées, les matériaux standards commencent à se dégrader. Ils libèrent alors des ions métalliques ou des composés organiques volatils dans le processus de séchage. Le quartz, lui, ne fait pas cela. De plus, il résiste au stress lié aux variations rapides de puissance sans se fissurer. Vous pouvez augmenter ou diminuer la température sans craindre que les tubes ne se brisent.
Vitesse et le problème de la chaleur
Ces lampes sont conçues pour une forte densité de puissance. En d’autres termes, beaucoup d’énergie est concentrée dans le spectre des ondes courtes, ce qui signifie que la chaleur atteint le substrat beaucoup plus rapidement que avec les méthodes traditionnelles de convection. Cela permet de réduire considérablement le temps de séchage.
Mais attention : toute cette énergie génère beaucoup de chaleur dans l’encadrement de la lampe. Si vous utilisez ces lampes à leur pleine puissance, vous devez vous assurer que le système de refroidissement est suffisant. Sinon, les supports de fixation risquent de se déformer. C’est juste un avertissement.
Installation dans votre système
Nous avons veillé à ce que les dimensions des lampes soient compactes. Aucune pièce encombrante, rien de superflu. Nous avons également abandonné les adhésifs et les produits chimiques utilisés pour fixer les lampes. Ce genre de produits représente une source potentielle de contamination. Au lieu de cela, nous utilisons des connexions précisément fabriquées, qui assurent une bonne étanchéité et maintiennent l’air propre.
Si vous disposez déjà de modules de séchage, ces lampes peuvent être utilisées comme remplacement direct. Nous avons passé beaucoup de temps à perfectionner l’étanchéité entre le tube en quartz et les fils électriques. Ainsi, même si un tube est endommagé, aucun gaz halogène ne s’échappera dans votre salle propre.
C’est une façon simple de maintenir un taux de production élevé et de réduire au minimum les temps d’arrêt.