Arrêtez de gaspiller de l’énergie inutilement sur les tables de travail des salles propres
Si vous avez déjà passé du temps à chauffer des wafers en silicium, vous connaissez bien cette frustration. Vous injectez de l’énergie dans une lampe infrarouge, mais une grande partie de cette énergie disparaît simplement… sans servir à rien.
Les lampes ordinaires émettent de la chaleur dans toutes les directions. Sans réflecteur adéquat, environ la moitié de l’énergie est gaspillée, car elle réchauffe plutôt le boîtier de la table de travail, au lieu d’atteindre directement le wafer. C’est un gaspillage d’énergie et cela représente également une charge supplémentaire pour le système de refroidissement.
C’est pourquoi nous utilisons des réflecteurs recouverts d’or.
Pourquoi de l’or ?
Ça peut sembler sophistiqué, mais c’est purement une question de physique. L’or est extrêmement efficace pour renvoyer la lumière infrarouge. L’aluminium est certes une alternative moins chère, mais il ne parvient pas à assumer cette fonction lorsque les températures montent. La couche d’or capture toute la radiation réfléchie par le tube en quartz et la dirige vers le wafer. Ainsi, on obtient une chaleur concentrée, exactement là où elle est nécessaire, sans avoir à augmenter la puissance de la lampe ni à surcharger son équipement.
Assurer une bonne densité de chaleur
L’objectif est d’atteindre rapidement la température souhaitée. On veut que le wafer soit à la bonne température immédiatement, et non pas dans dix minutes. En utilisant ces réflecteurs en or, nous nous assurons que chaque watt d’électricité soit vraiment utilisé efficacement. C’est rapide et efficace. De plus, comme cet élément est très efficace, tout l’ensemble de chauffage peut être plus compact.
Mais voici le problème : l’or est assez exigeant. Il déteste la contamination. Si les protocoles de nettoyage de votre salle propre ne sont pas respectés, et que de l’huile ou des produits chimiques se retrouvent sur le réflecteur, sa capacité de réflexion diminue. Vous remarquerez alors que la chaleur n’atteint plus uniformément le wafer. C’est généralement le premier signe que le réflecteur nécessite des réparations.
Quelques conseils pour l’installation
Nous avons conçu ces réflecteurs pour qu’ils soient faciles à utiliser. Ce sont des remplaçants directs, ce qui vous permet de les installer sans avoir à recalibrer manuellement la hauteur de l’axe Z.
Un petit conseil concernant le câblage : assurez-vous que la tension fournie par l’alimentation électrique corresponde exactement à celle de la lampe. J’ai vu des gens essayer d’augmenter artificiellement la tension pour compenser un réflecteur sale. Ne faites pas ça : cela endommagera prématurément le filament de la lampe. Il suffit de maintenir la surface en or propre, afin que la chaleur reste constante et fiable.