Sur le plan de fabrication, même une légère variation de température d’un demi-degré peut avoir un impact négatif sur les dimensions critiques des composants et réduire le taux de production. Les plaques chauffantes conventionnelles ne suffisent pas à compenser ces écarts thermiques, et cette incertitude se reflète dans la qualité du produit fini. Nous avons donc conçu un séchoir à rayonnement infrarouge compact pour le traitement des circuits intégrés, afin d’éliminer ces variations.
Chaleur par rayonnement infrarouge : uniformité et reproductibilité au niveau du sub-millimètre
Cet appareil utilise des émetteurs infrarouges proches du spectre visible, adaptés à l’absorption par le photo-résistant. Ainsi, l’énergie pénètre plus rapidement dans le matériau, ce qui permet de maintenir une température constante. On obtient ainsi une uniformité au niveau du sub-millimètre sur toute la surface de la puce, avec une précision de ±0,1 °C pendant tout le processus de séchage.
Nous utilisons une pyrométrie en boucle fermée directement sur la surface de la puce, ainsi qu’une cavité réfléchissante qui empêche la chaleur de se disperser. La reproductibilité d’un cycle à l’autre est inférieure à quelques milligrades, ce qui garantit que les paramètres de séchage restent stables.
Pourquoi cela fonctionne efficacement
En lithographie, cet appareil permet de gérer tant les procédés de séchage doux que ceux de séchage intensif, avec un contrôle précis. Cela permet de réduire le temps de traitement tout en préservant la qualité des couches de photo-résistant. En matière de nettoyage et de séchage, il permet d’éliminer l’humidité sans surchauffer les couches de faible conductivité électrique.
Cet appareil peut être utilisé dans des salles propres de classe 1–100, sans produire aucune particule, comme le prouve le suivi en temps réel. La consommation d’énergie est réduite, car c’est le matériau à chauffer, et non toute la pièce. Il est conçu pour fonctionner 24/7, avec une durée de vie des émetteurs supérieure à 5 000 heures et une puissance de sortie stable.
Notes pratiques pour une utilisation optimale
L’installation nécessite une alimentation dédiée de 24 VDC, ainsi qu’un banc propre et isolé des vibrations, afin de garantir une bonne alignment du faisceau lumineux. Le séchoir est optimisé pour les puces de 150 mm et 200 mm ; pour les puces de 300 mm, il faut utiliser un support personnalisé ainsi qu’une procédure de calibrage spécifique.
Il est nécessaire de réaliser des tests préliminaires pour déterminer les paramètres adaptés aux différents types de couches utilisées, puis de fixer ces paramètres une fois pour toutes.