در کارخانههای تولید، میدانید که چه اتفاقاتی میافتد: تغییر دما در حد ۰.۵ درجه سانتیگراد در طول فرآیند پختن فوتورزیست، میتواند باعث تغییر ابعاد مهم قطعات شود و در نتیجه کل محموله محصولات از بین برود. فرآیند RTP صرفاً مربوط به حرارت نیست؛ بلکه شامل کنترل دقیق دما در سطح ویفرهاست، بدون اینکه این کنترل مانع کارکرد اتاقهای تمیز شود.
آنچه اهمیت دارد:
ما این لامپهای هالوژنی را با استفاده از نور مادون قرمز کوتاهامواج و پوشش کوارتزی ساختهایم؛ بنابراین واکنش سریعی دارند و تأخیر حرارتی ناچیزی وجود دارد. در نتیجه، یکنواختی دما در سطح ویفرها در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حاصل میشود؛ این میزان دقیقاً همان چیزی است که برای کنترل دقیق دمای فرآیند لازم است. این لامپها سازگار با اتاقهای تمیز در کلاسهای ۱ تا ۱۰۰ هستند؛ مواد و ساختار آنها به گونهای انتخاب شدهاند که تعداد ذرات موجود در آنها کاهش یابد. خروجی لامپ در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار، پایدار باقی میماند؛ کاهش خروجی نور کمتر از ۵٪ است؛ بنابراین میتوانید فرآیندهای طولانی را بدون نیاز به تنظیم مجدد هر هفته انجام دهید.
چرا این موضوع در فرآیندهای لیتوگرافی و RTP اهمیت دارد؟
محدودیتهای حرارتی در این فرآیندها بسیار زیاد است؛ یکنواختی بالاتر دما، باعث کاهش نقصهای موجود در لبههای ویفرها میشود، کنترل ابعاد قطعات بهتر میشود و باعث افزایش بازدهی فرآیند میگردد. سرعت بالاتر فرآیند، زمان انجام کار را کوتاه میکند، بدون اینکه توان حرارتی بیش از حد افزایش یابد. حفظ فرآیند در شرایط تمیز و بدون ذرات، باعث کاهش محمولههای از کار افتاده و کارهای تکراری میشود؛ همچنین، خروجی پایدار لامپ، نتایج فرآیند را در هر محموله قابل تکرار میکند. و از آنجایی که این سیستم به سرعت به مقدار مورد نظر میرسد و آن را با دقت حفظ میکند، انرژی کمتری در اثر تغییرات حرارتی هدر میرود.
چند نکته برای استفاده در کارخانه:
برای حفظ یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد، به بازتابندههای مناسب و تطبیق دقیق فوکوس لامپ نیاز است. نصب این لامپها در ابزارهای RTP قدیمی نسبتاً آسان است؛ اما پوشش کوارتزی لامپ نیازمند مراقبت دقیق و نصب تمیز است؛ زیرا خراشهای کوچک میتوانند در آینده منبع ذرات شوند. قبل از استفاده، بهتر است یک آزمایش کوتاه بر روی دستورالعملهای دقیق فرآیند انجام دهید تا پروفایلهای فرآیند و زمانهای لازم برای انجام کار مشخص شوند.