در خط تولید، تغییرات دمای فر، باعث روشن شدن چراغ هشدار نمیشود. این تغییرات به صورت تغییرات در ابعاد کلیدی محصول پس از قرار گرفتن در معرض نور، یا به صورت اختلافات در پروفایل فوتورزیست، ظاهر میشود؛ همچنین ممکن است باعث کاهش بازدهی تولید شود که رفع آن روزها طول میکشد. در فرآیندهای خشک کردن ویفر، استفاده از حرارت ملایم یا شدید، منجر به تعیین دقیق میزان انرژی مورد نیاز میشود.
ما فر آزمایشگاهی خود را بر اساس استفاده از امواج مادون قرمز کوتاه ساختیم؛ زیرا این امواج انرژی را مستقیماً به فوتورزیست و سطح ویفر منتقل میکنند، بدون اینکه دیوارههای فر را گرم کنند. این روش باعث میشود که دمای ویفر به سرعت به حالت مورد نیاز برسد، کنترل دقیقی بر دما امکانپذیر شود، و پروفایل حرارتی در هر بار تولید تکرار شود.
نکات مهم در زیر سطح:
ما از منابع امواج مادون قرمز کوتاه با پاسخ سریع و کنترل طیفی دقیق استفاده میکنیم؛ تا دمای ویفر در کل سطح آن در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی بماند. توان خروجی لامپ نیز متناسب با حجم فر و جریان هوا تنظیم میشود؛ بنابراین لامپ در دمای مورد نیاز باقی میماند و از فراتر رفتن از این دما جلوگیری میشود.
غلاف کوارتز و قطعات سرامیکی موجود در فر، باعث میشوند که تولید ذرات در حد صفر باقی بماند؛ این امر باعث میشود که فر با استانداردهای اتاقهای پاک کلاس ۱ تا ۱۰۰ سازگار باشد. لامپ به طور مداوم کار میکند و تولید انرژی آن در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت ثابت باقی میماند؛ همچنین کاهش شدت انرژی تولیدی کمتر از ۵٪ است.
چرا این روش در فرآیند آمادهسازی ویفر مؤثر است؟
در فرآیند آمادهسازی ویفر، استفاده از حرارت ملایم منجر به حذف حلالهای موجود در ویفر میشود؛ اگر دما خیلی کم باشد، فیلم حاصل همچنان حاوی حلال خواهد بود؛ اگر دما خیلی بالا باشد، مواد محافظ فوتورزیست از بین خواهند رفت. روش ما باعث میشود که دمای ویفر به سرعت به حالت مورد نیاز برسد و در آن حالت باقی بماند؛ بنابراین پروفایل حرارتی در هر بار تولید تکرار میشود.
در فرآیندهای خشک کردن و تثبیت ویفر، لامپ باعث حفظ پروفایل حرارتی مورد نیاز میشود؛ بنابراین از سلامت دستگاه محافظت میشود و بازدهی تولید حفظ میگردد. همچنین میزان مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا لامپ مستقیماً محصول را گرم میکند، نه بدنه فر.
جزئیات عملی که نباید نادیده گرفت:
برای نصب لامپ، باید آن را با الگوی بازتاب نور فر و جریان هوا هماهنگ کرد؛ اگر تنظیمات صحیح نباشد، تفاوتهای دمایی در سطح ویفر ایجاد خواهد شد. قبل از استفاده از فر، باید ولتاژ، کانکتورها و محدودیتهای حرارتی فر را بررسی کرد.
در محیطهایی با رطوبت بالا، باید پنجره لامپ را از تشکیل رطوبت خالی نگه داشت؛ برای این منظور میتوان از سیستمهای تخلیه هوا استفاده کرد. همچنین باید تعمیرات لامپ را بر اساس زمان مشخص شده برنامهریزی کرد؛ تا از توقف غیرمنتظره فر در اثر خرابی لامپ جلوگیری شود.