লাইনে ব্যবহৃত OLED লিথোগ্রাফিতে থার্মাল ড্রিফটের কোনো সুযোগ নেই। যদি তাপমাত্রা ±0.5°C পর্যন্ত চলে যায়, তাহলে CD-এর ইউনিফর্মিটি নষ্ট হয়ে যায়; আর রেজিস্ট প্রোফাইলগুলোও ঠিকমতো কাজ করে না। এখানে এমন একটি ড্রায়িং ল্যাম্প দরকার, যা স্থির অবস্থায় থাকে; দিনের আলোর সাথে সাথে নড়ে না।
আমরা কী তৈরি করেছি, এবং কেন?
আমরা OLED ড্রায়িং ল্যাম্পটিকে কোয়ার্টজ আবরণের ভিতরে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড হ্যালোজেন এমিটারের সাথে সংযুক্ত করেছি। এর ফলে ফটোরেজিস্টে দ্রুত এবং সরাসরি শক্তি সরবরাহ হয়; আর সাবস্ট্রেটটি খুব কম উত্তপ্ত হয়। হিটার অ্যারেগুলো এমনভাবে সাজানো হয়েছে যাতে ওয়েফারের উপরিভাগে তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; আর প্রতিবার প্রক্রিয়া চালানোর সময় তাপমাত্রা 0.05°C এর মধ্যেই থাকে।
এই সিস্টেমটি Class 1–100 ক্লিনরুমে ব্যবহারের জন্য উপযুক্ত; আর ইন-সিটু মনিটরিংয়ের মাধ্যমে আমরা কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন না হওয়ার বিষয়টি নিশ্চিত করেছি। তাপমাত্রা নির্ধারণের জন্য ক্যালিব্রেটেড পাইরোমিটার ও এমিসিভিটি কম্পেনসেশন ব্যবহৃত হয়; ল্যাম্পের আবরণের বাইরে নয়।
OLED ফ্যাবে এটি কেন কার্যকর?
OLED ড্রায়িং ও ফটোরেজিস্ট বেকিং প্রক্রিয়ায় থার্মাল বাজেট খুবই সীমিত। খুব কম তাপমাত্রায় সলভেন্টগুলো দূর হয় না; আবার খুব বেশি তাপমাত্রায় গ্যাস নির্গমন হয়, যা প্যাটার্নিংয়ে ত্রুটি সৃষ্টি করে। এই ল্যাম্পটি প্রতিবারই রেজিস্ট বেকিংয়ের জন্য সঠিক তাপমাত্রা নিশ্চিত করে; ফলে CD কন্ট্রোল ও সাইডওয়্যাল অ্যাঙ্গেলগুলো স্থিতিশীল থাকে।
দ্রুত তাপমাত্রা বৃদ্ধি করার ফলে বেকিং প্রক্রিয়া দ্রুত সম্পন্ন হয়; আর চরম তাপমাত্রা বাড়ে না। এটা ডিজাইনের দিক থেকেই কার্যকর—উচ্চ ইলেকট্রিক্যাল-টু-রেডিয়েন্ট রূপান্তর ও কম থার্মাল মাস এর ফলে কম বিদ্যুৎ ব্যবহৃত হয়; আর কম তাপ ক্লিনরুমে ছড়িয়ে যায়। এটা ২৪/৭ কাজ করার জন্য উপযুক্ত; ফিল্ড ডেটায় হাজার হাজার ঘন্টা ধরে স্থিতিশীল আউটপুট পাওয়া গেছে।
আপনাকে কী ব্যবস্থা নিতে হবে?
ল্যাম্পটি ছোট, কিন্তু কার্যকারিতা বজায় রাখার জন্য এর জন্য একটি স্বতন্ত্র এক্সহস্ট পাথ ও পরিষ্কার বৈদ্যুতিক সরবরাহ দরকার। যদি আপনি পুরানো সিস্টেমের সাথে এটিকে ইন্টিগ্রেট করতে চান, তাহলে মেকানিক্যাল ও কন্ট্রোল ইন্টারফেস অ্যাডাপ্টার ব্যবহার করতে হবে। কানেক্টর, মাউন্টিং এনভেলাপ ও PLC ইন্টারলকগুলো নিশ্চিত করে নিন।
বেকিং প্রক্রিয়াটি ঠিক করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত কমিশনিং সিকোয়েন্স চালান; তারপর এটিকে স্থায়ীভাবে সেট করে দিন।