লাইনে, ওভেনের তাপমাত্রা পরিবর্তন হলে কোনো সতর্কতা সংকেত দেখা যায় না। এটা ফটোরেজিস্ট প্রোফাইলে পরিবর্তন হিসেবে দেখা যায়; অথবা উৎপাদনে ঘাটতি হিসেবেও দেখা যায়, যা ঠিক করতে দিনের পর দিন সময় লাগে। ওয়েফার শুকানোর প্রক্রিয়ায়, ‘সফ্ট বেক’ ও ‘হার্ড বেক’-এ তাপীয় ব্যবস্থা নির্ধারিত থাকে।
আমরা আমাদের সেমিকন্ডাক্টর ল্যাব ওভেনটিকে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড রশ্মির ভিত্তিতে তৈরি করেছি; কারণ এই রশ্মিগুলো সরাসরি ফটোরেজিস্ট ও ওয়েফার সাবস্ট্রেটে প্রবেশ করে, চেম্বারের দেয়ালগুলোকে গরম করে না। এর ফলে দ্রুত তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা যায়, আর প্রতিবারই একই ধরনের ফলাফল পাওয়া যায়।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা দ্রুত প্রতিক্রিয়াশীল ও নিয়ন্ত্রণযোগ্য শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড সোর্স ব্যবহার করি; যাতে ওয়েফারের বিভিন্ন অংশে তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে। ল্যাম্পের শক্তি ওভেনের আয়তন ও বায়ুপ্রবাহের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ থাকে; ফলে ল্যাম্পটি নির্ধারিত তাপমাত্রায় থাকে।
কোয়ার্টজ এনভেলপ ও সিরামিক ফিক্সচারগুলো কণা উৎপন্ন হওয়াকে শূন্যের কাছাকাছি রাখে; ফলে ক্লিনরুম ক্লাস 1–100-এর নিয়মগুলো মেনে চলা যায়। ল্যাম্পটি ২৪/৭ কাজ করে; ৫,০০০+ ঘণ্টা ধরে স্থিতিশীল আউটপুট দেয়, আর তীব্রতার পরিবর্তন মাত্র ৫% হয়।
লিথোগ্রাফি প্রস্তুতির ক্ষেত্রে কেন এটা কার্যকর?
লিথোগ্রাফি প্রস্তুতির ক্ষেত্রে ‘সফ্ট বেক’ ব্যবহৃত হয় যাতে দ্রবকগুলো দ্রুত অপসারিত হয়। তাপমাত্রা খুব কম হলে ফিল্মটি দ্রবকের সাথে আটকে থাকে; আবার খুব বেশি হলে ফটোরেজিস্ট প্রোফাইল ক্ষতিগ্রস্ত হয়। আমাদের ইনফ্রারেড পদ্ধতিতে ওয়েফারটি দ্রুত নির্ধারিত তাপমাত্রায় পৌঁছায়, আর সেখানেই থাকে; ফলে প্রতিবারই একই ধরনের ফলাফল পাওয়া যায়।
‘হার্ড বেক’ ও ‘কিউরিং’-এর ক্ষেত্রে ল্যাম্পটি প্রয়োজনীয় তাপীয় প্রোফাইল বজায় রাখে; ফলে ডিভাইসটির অখণ্ডতা বজায় থাকে, আর উৎপাদন ক্ষমতাও বজায় থাকে। আর শক্তি ব্যবহারও কম হয়; কারণ ল্যাম্পটি সরাসরি পণ্যটিকে গরম করে, ওভেনের দেয়ালগুলোকে নয়।
কী বিষয়গুলো অবশ্যই মনে রাখতে হবে?
ইনস্টলেশনের সময় ল্যাম্পটিকে ওভেনের রিফ্লেক্টর ও বায়ুপ্রবাহের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ করতে হয়। যদি সামঞ্জস্য না থাকে, তাহলে ওয়েফারের বিভিন্ন অংশে তাপমাত্রার পার্থক্য দেখা যাবে। ইন্টিগ্রেশনের আগে ওভেনের ভোল্টেজ, কানেক্টর ও তাপীয় লোড সীমাগুলো নিশ্চিত করুন।
উচ্চ আর্দ্রতার পরিবেশে ল্যাম্পটির জানালাটিকে ঘনীভূত আর্দ্রতা থেকে রক্ষা করুন; আর নির্ধারিত সময় অনুযায়ী ল্যাম্পটির রক্ষণাবেক্ষণ করুন, যাতে অপ্রত্যাশিত বন্ধের সমস্যা না হয়।