في قسم التصنيع، فإن عملية تجفيف المادة الحساسة للضوء ليست مجرد “توقف مؤقت”، بل هي نقطة تحكم لا يمكن التغاضي عنها. أي اختلاف في درجة الحرارة بمقدار 1 درجة مئوية سيؤدي إلى خروج الأبعاد الحرجة عن المعدلات المطلوبة، كما سيؤدي ذلك إلى ظهور عدم انتظام في حواف الخطوط. لذلك، قمنا بتصميم مصابيح التجفيف من نوع DUV بحيث تحافظ على درجة الحرارة المطلوبة في العملية، وليس في المكان الذي تستقر فيه المصابيح.
ما يهم عند معالجة الرقائق هو القدرة على تكرار العملية بشكل مستمر. تحافظ المصابيح على توحيد درجة الحرارة على سطح الرقيقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، وهو ما يؤدي إلى إزالة المذيبات بشكل متساوٍ، وبالتالي تحسين جودة الرقائق.
تم تعديل خصائص الإضاءة لتتناسب مع خصائص المواد الحساسة للضوء، كما أن الاستجابة السريعة للحرارة تقلل من وقت التجفيف دون التأثير على جودة العملية.
التوافق مع بيئات الغرف النظيفة ليس شيئًا إضافيًا، بل هو جزء من التصميم الأساسي للمصابيح؛ ففي البيئات من الفئة 1 إلى 100، لا يحدث أي توليد للجسيمات الناتجة عن الحرارة، كما أن النظام يعمل على مدار 24 ساعة دون أي توقف غير مخطط له.
الفائدة التي يمكن قياسها هي دقة درجة الحرارة أثناء عملية التجفيف، مما يقلل من تباين الأبعاد الحرجة والحاجة إلى إعادة المعالجة.
استهلاك الطاقة أقل بفضل التصميم الذكي، كما أن استخدام مصابيح ذات عمر طويل يقلل من الحاجة إلى قطع الغيار وأوقات الصيانة.
إنها بديل موثوق به يتوافق مع المعايير الدولية لمعدات أشباه الموصلات، مع نفس الأداء الحراري، دون الحاجة إلى الاعتماد على مورد معين.
ملاحظة مهمة: التوحيد الحراري يعتمد على تصميم الغرفة وطريقة وضع الرقيقة في الدعامات. ستحصل على أفضل النتائج عندما تتناسب المصابيح مع تصميم الغرفة المستخدمة، بالإضافة إلى تعديل إعدادات عملية التجفيف لتتناسب مع الظروف الجديدة.
نحن نوفر بيانات الواجهة وملاحظات التطبيق حتى يمكن قياس التغييرات بدقة، وليس فقط التخمين.