http://ir-heating-case.com/zh/tags/%E7%BA%A2%E5%A4%96%E5%85%89/ Recent content in 红外光 on Infrared Heating Applications Hugo zh Tue, 21 Jul 2026 04:13:57 +0800 http://ir-heating-case.com/zh/posts/ceramic-end-cap-for-ir-emitter/ Tue, 21 Jul 2026 04:13:57 +0800 http://ir-heating-case.com/zh/posts/ceramic-end-cap-for-ir-emitter/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="红外发射器的陶瓷端帽"></p> <p>如何保持100级洁净室的清洁状态<br> 在运营100级洁净室时，供暖是个棘手的问题。问题不在于温度本身，而在于那些看不见的微小颗粒。</p> <p>普通的红外灯就存在这个问题——它们的端盖会释放出微小的金属碎片。如果这些碎片落在晶圆或光学涂层上，那就等于白白浪费了很多钱。</p> http://ir-heating-case.com/zh/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Tue, 30 Jun 2026 13:07:50 +0800 http://ir-heating-case.com/zh/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="300毫米晶圆红外均匀加热"></p> <p>在300毫米晶圆加工过程中，一旦烘烤过程的参数出<a href="https://o-yate.net">现偏差</a>，就能立刻察觉到。此时，晶圆的线条宽度会变得不稳定，显影后还会出现杂质。当加热区域与设定温度发生冲突时，就会导致光刻胶的浪费，进而影响产品的良率。我们设计的红外加热系统就是为了在问题出现之前就加以解决。</p> <p><strong>从技术角度来看，什么才是最重要的？</strong> 短波红外发射器阵列能够确保晶圆表面的温度均匀性，无论是在软烘烤、硬烘烤还是固化阶段，都能将温度控制在±0.1°C范围内。快速的升温速度可以减少温度滞后现象，从而使温度始终保持在设定值附近。该加热系统适用于从1级到100<a href="https://goldisgood.com">级的洁净室</a>环境，且在稳定状态下不会产生任何颗粒物。因此，它能够实现全天候稳定运行，无需意外停机，同时还能保证每批产品的CD值和厚度都符合标准。</p>