http://ir-heating-case.com/zh/tags/%E5%AE%9E%E9%AA%8C%E5%AE%A4/ Recent content in 实验室 on Infrared Heating Applications Hugo zh Wed, 17 Jun 2026 16:20:28 +0800 http://ir-heating-case.com/zh/posts/semiconductor-laboratory-oven-lamp/ Wed, 17 Jun 2026 16:20:28 +0800 http://ir-heating-case.com/zh/posts/semiconductor-laboratory-oven-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="半导体实验室烘箱灯"></p> <p>在光刻过程中，烤箱温度的波动不会通过警示灯来显示出来。这种波动会体现在曝光后关键尺寸的变化上，<a href="https://o-yate.net">或者表现为</a>光刻胶表面的不均匀性，又或者会导致良率下降，而要解决这些问题需要花费数天的时间。在晶圆干燥、软烘烤和硬烘烤过程中，热处理条件是固定不变的。</p> <p>我们设计的半导体实验室用烤箱采用了短波红外线技术，因为这种能量可以直接作用于光刻胶和晶圆基底，而不会加热烤箱的墙壁。这样一来，就能实现快速的升温过程，同时保持精确的温度控制，而且每次烘烤的结果都十分稳定。</p>