Phần tử gia nhiệt Aixtron dự phòng

Fri, 05 Jun 2026 04:26:26 +0800

Trên sàn sản xuất, buồng MOCVD Aixtron không cho bạn bất kỳ sự lỏng lẻo nào. Khi phần tử gia nhiệt bắt đầu lệch, bạn sẽ nhận ra ngay lập tức: sự không đồng nhất về nhiệt độ trên bề mặt gia nhiệt, độ lặp lại giữa các lần chạy giảm sút, và các hồ sơ epi đi lang thang cho đến khi bạn phải loại bỏ các tấm wafer. Thời gian ngừng hoạt động không được đo bằng phút - mà được đo bằng giờ. Chúng tôi đã chế tạo phần tử gia nhiệt Aixtron thay thế để đưa kiểm soát nhiệt trở lại nơi nó thuộc về, với sự tự tin tương đương như ban đầu, vì thời gian hoạt động và năng suất không chờ đợi.

Những gì quan trọng, về mặt kỹ thuật

Chúng tôi kết hợp kiến trúc nhiệt Aixtron - hình học gia nhiệt quartz-halogen hoặc NIR - được thiết kế với công suất và điện áp chính xác, và được kết thúc với giao diện kết nối được chỉ định. Lợi ích là sự đồng nhất về nhiệt độ ở cấp độ wafer trong khoảng ±0.1°C trong trạng thái ổn định, tốc độ gia nhiệt nhanh mà không bị quá mức, và các điểm thiết lập giữ ổn định qua các chuỗi lắng đọng dài. Các vật liệu và cấu trúc được chọn cho sử dụng trong phòng sạch loại 1–100, với việc không phát sinh hạt và độ thoát khí thấp, do đó số lượng hạt vẫn nằm trong giới hạn kiểm soát quy trình.

Dự Phòng on Infrared Heating Applications

Phần tử gia nhiệt Aixtron dự phòng

Những gì quan trọng, về mặt kỹ thuật