Thiết bị sưởi dùng để đánh giá tính chất của các thiết bị bán dẫn

Sat, 20 Jun 2026 06:18:33 +0800

Trong quá trình đánh giá chất lượng wafer, sự thay đổi nhiệt độ có thể phá hủy các mô hình dự đoán hiệu suất sản xuất và làm thu hẹp khoảng thời gian có thể sử dụng để hoàn thành quy trình sản xuất. Chỉ cần sự thay đổi nhiệt độ khoảng nửa độ C cũng đã đủ để che giấu những giới hạn của thiết bị; việc cố gắng khắc phục điều này bằng cách nung lại wafer chỉ khiến lớp phim quang hóa bị hỏng và lãng phí thời gian mà thôi. Điều bạn cần là một thiết bị sưởi có khả năng duy trì nhiệt độ ổn định, chứ không phải một thiết bị hoạt động dựa trên sự ước lượng.

Characterization on Infrared Heating Applications

Thiết bị sưởi dùng để đánh giá tính chất của các thiết bị bán dẫn