Trên sàn sản xuất, chênh lệch vài độ có thể quyết định tấm wafer được chấp nhận hay bị loại thải. Một điểm nóng trong quá trình soft bake hoặc hard...

Trên dây chuyền, thời gian không phải là gợi ý mà là giới hạn. Sau bước phủ spin-coat, wafer đang có một lớp màng photoresist mỏng cần được điều kiện...