Tại sao chúng tôi từ bỏ việc sử dụng ozone trong quá trình khử ẩm bằng tia hồng ngoại
Trong các nhà máy sản xuất chip bán dẫn, “sự sạch sẽ” không chỉ là một mục tiêu – mà còn là yếu tố quan trọng nhất. Nếu để lại bất kỳ lượng hóa chất nào, bạn sẽ gặp phải vấn đề. Đó chính là lý do tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng các bóng đèn tia hồng ngoại không chứa ozone.
Hầu hết các hệ thống tia hồng ngoại truyền thống đều tạo ra ozone như một sản phẩm phụ. Điều này rất nguy hiểm. Bằng cách loại bỏ ozone, chúng tôi không chỉ đáp ứng được các tiêu chuẩn “xanh” mà còn bảo vệ được các thiết bị điện tử.
Cơ chế hoạt động
Các bóng đèn tia hồng ngoại thông thường phát ra bức xạ trong khoảng 185nm đến 254nm. Nguồn năng lượng này tác động lên oxy trong không khí, khiến nó bị phân tách thành các phân tử khác nhau, từ đó tạo ra ozone.
Trong môi trường sạch, ozone thực sự là một mối nguy hiểm. Nó có thể phá hủy các chi tiết kim loại mỏng manh và làm hỏng các polyme hữu cơ. Để ngăn chặn điều này, chúng tôi sử dụng các lớp phủ đặc biệt trong ống thủy tinh. Những lớp phủ này đóng vai trò như một bộ lọc, ngăn chặn bức xạ UV.
Bạn vẫn có thể nhận được nhiệt độ cần thiết, nhưng không còn khí ăn mòn nữa.
Không cần phải làm nóng toàn bộ không khí
Hãy tưởng tượng một lò nướng lớn – bạn phải chi rất nhiều tiền và điện năng chỉ để làm nóng toàn bộ không khí trong phòng. Điều này rất lãng phí.
Các bóng đèn tia hồng ngoại thì khác. Chúng tác động trực tiếp lên bề mặt vật liệu cần xử lý. Việc này giúp tiết kiệm năng lượng. Vì chúng ta không cần phải làm nóng toàn bộ không khí trong phòng, nên lượng điện năng tiêu thụ cho mỗi tấm wafer cũng giảm đáng kể. Bạn chỉ cần làm nóng bề mặt vật liệu, chứ không phải toàn bộ không khí.
Sự thật về việc chuyển sang sử dụng bóng đèn tia hồng ngoại không chứa ozone
Tôi sẽ không nói rằng đây là giải pháp kỳ diệu. Có một số điều bạn cần lưu ý.
Vì chúng tôi loại bỏ các bước sóng gây ra ozone, nên phân bố bước sóng của ánh sáng sẽ thay đổi một chút. Bạn không thể chỉ bật công tắc rồi bỏ mặc mọi thứ. Bạn có thể cần điều chỉnh tốc độ vận chuyển vật liệu hoặc độ cao của bóng đèn để đạt được hiệu quả mong muốn.
Nếu bạn đang sử dụng dây chuyền sản xuất với tốc độ cao, hãy đảm bảo rằng các bộ điều khiển PID của bạn được điều chỉnh phù hợp với thời gian phản ứng của các bóng đèn này.
Điều tốt là chúng tôi đã thiết kế các bóng đèn này sao cho có thể thay thế ngay lập tức. Bạn vẫn có thể giữ nguyên cấu hình hiện tại của mình, nhưng cuối cùng bạn sẽ không còn phải lo lắng về vấn đề ô nhiễm nữa.