Trên sàn sản xuất, sự trôi nhiệt không xuất hiện kèm theo cảnh báo. Bạn nhận biết qua tỷ lệ sản phẩm đạt yêu cầu giảm, sự tăng đột biến hạt bụi trên màn hình, hoặc hồ sơ photoresist bắt đầu biến đổi theo từng ca. Trong quá trình sấy wafer, soft bake và hard bake photoresist, cũng như quá trình đóng gói và curing, nhiệt độ không chỉ là một núm điều chỉnh—mà là quy trình bạn phải chịu trách nhiệm.
Điều quan trọng bên trong thiết bị
Chúng tôi thiết kế máy sấy và module bake với kiểm soát nhiệt nghiêm ngặt: độ đồng đều ±0.1°C trên vùng nóng, đo tại mặt phẳng wafer, không phải tại block gia nhiệt. NIR và hồng ngoại bước sóng trung bình truyền năng lượng trực tiếp vào màng và lớp resist, giúp chu trình nhanh hơn mà không vượt nhiệt. Bộ gia nhiệt sợi carbon giữ ổn định và tái lập được các chu trình tiếp xúc khi bake. Toàn bộ hệ thống tương thích với phòng sạch từ Class 1 đến Class 100, không phát sinh hạt bụi tại giao diện quy trình và hệ thống thoát khí giữ sạch tạp chất bên ngoài. Độ lặp lại được thiết kế sẵn—giá trị đặt giữ ổn định trong giới hạn sai số giờ này qua giờ khác, lô này qua lô khác.
Lý do hệ thống ổn định trong sản xuất
Trên dây chuyền lithography, cùng một thiết bị thực hiện cả soft bake và hard bake với các hồ sơ nhiệt đồng nhất, nên không gây biến đổi kích thước CD hay độ dày theo thời gian. Trong công đoạn làm sạch và sấy khô, thiết bị đưa wafer về trạng thái khô ráo, không vết đốm và không gây sốc nhiệt. Trong đóng gói, nó thực hiện curing encapsulants và underfills đúng lịch trình, tránh gây ra các mối hàn lạnh. Kết quả là chu kỳ vận hành ổn định, giảm tỷ lệ lô phế, và ngân sách nhiệt duy trì ổn định. Tiêu thụ năng lượng giảm do bộ gia nhiệt đạt giá trị đặt nhanh và duy trì mà không phải bật tắt liên tục.
Những điểm cần lên kế hoạch
Nền tảng này có thể lắp đặt vào các đường ray và lò hiện có, nhưng diện tích và hệ thống thoát khí phải phù hợp với giới hạn của nhà máy. Cần cấp nguồn và nối đất riêng biệt để giữ độ đồng đều nhiệt đúng yêu cầu, và dự kiến khoảng thời gian chạy thử ngắn để hiệu chỉnh hồ sơ nhiệt phù hợp với lớp màng của bạn. Khi đã thiết lập, hệ thống vận hành liên tục 24/7 với bảo trì định kỳ thông thường.