http://ir-heating-case.com/uk/tags/cmp/ Recent content in CMP on Infrared Heating Applications Hugo uk Thu, 02 Jul 2026 09:27:37 +0800 http://ir-heating-case.com/uk/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Thu, 02 Jul 2026 09:27:37 +0800 http://ir-heating-case.com/uk/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Нагрівач для сушіння пластин після процедури CMP"></p> <p>На виробничому полі, пластинка після процедури CMP, яка виходить з розчину, все ще містить мікрокраплі на своїх поверхнях. Це означає, що для отримання якісного продукту потрібно ще провести додаткові операції. Проблеми, пов’язані з водяними слідами, повторним нанесенням матеріалу чи руйнуванням структури пластинки, зазвичай проявляються на більш пізньому етапі – саме тоді, коли починається літографія та етching. Пристрій для сушіння – це не просто „зручний допоміжний пристрій“. Це останній елемент системи контролю температури перед тим, як пластинка виходить з пристрою CMP.</p>