Інфрачервоний on Infrared Heating Applications

Модульний інфрачервоний нагрівальний пристрій

Tue, 09 Jun 2026 03:55:08 +0800

На виробничому майданчику процес запікання фоторезисту — це не опція, а теплове зобов’язання. Зсув температури на 1,5°C по поверхні пластини достатній, щоб критичні ширини лінійок перетворились на втрати виходу. Ми розробили Modular Infrared Heating Array, щоб працювати в таких умовах, забезпечуючи повторюваний і контрольований нагрів відповідно до вимог процесу.

Технічні ключові аспекти
Масив використовує випромінювачі ближнього інфрачервоного діапазону у модульному виконанні, що дозволяє підібрати зону нагрівання відповідно до технологічного вікна — по всій пластині або на рівні кристала. Однорідність температури підтримується в межах ±0,1°C по активній зоні, а стабільність заданої температури залишається високою навіть при зміні навантаження. Сумісність з чистими приміщеннями забезпечена: клас 1–100 з нульовою генерацією часток та поверхні, що підтримують обробку полімерів з низьким вихором газів. Профілі soft bake і hard bake виконуються зі строгим контролем теплового бюджету, що зберігає цілісність критичних розмірів від лота до лота.

Інфрачервона лампа з золотим покриттям для напівпровідників

Sat, 06 Jun 2026 04:19:41 +0800

На виробничому майданчику безперервна робота 24/7 не є метою. Це ціна входу. Один температурний зрив під час м’якого або жорсткого випікання фотоемульсії, і ви можете попрощатися з цілою партією. Ось чому ми використовуємо лампи з золотим покриттям на інфрачервоному випромінюванні. Вони забезпечують стабільне, швидке тепло саме там, де це необхідно, без додавання частинок або дрейфуючих температур.

Що важливо в основі Золоте покриття відбиває понад 95% інфрачервоної енергії назад на об’єкт. Менше втрат тепла, і навколишня оптика залишається в безпеці. Корпус лампи виготовлений з кварцу, обраного за його хімічну інертність та стійкість до термічного удару. На практиці ви отримуєте однорідність на рівні пластини в межах ±0.1°C по всій зоні випікання та нульове генерування частинок у чистих приміщеннях класу 1–100. Ми плануємо термін служби понад 5000 годин при повній потужності, з дрейфом виходу менше 5%. Повторюваність зводиться до однозначних мілісекундних реакцій та стабільності менше одного градуса, цикл за циклом.

Інфрачервона швидка сушка пластин

Sun, 31 May 2026 05:06:34 +0800

На лінії годинник — не рекомендація, а межа. Після нанесення фотополімеру методом spin-coat пластина залишається з тонким шаром фотополімеру, який потрібно кондиціонувати та висушити перед експозицією. Неправильний Soft Bake призводить до зміщення профілю резисту. Нерівномірний Hard Bake після експозиції зменшує допустимість травлення. Якщо на останньому етапі сушіння залишаються водяні плями або піднімаються частинки, це позначиться на звіті про вихід продукції наступного ранку.
Ми розробили нашу систему швидкого сушіння пластин інфрачервоним випромінюванням для виключення цих змінних з теплових процесів. Йдеться не просто про нагрівання, а про відтворюваний контроль температури на рівні пластини, що вписується в виробничий цикл і бюджет чистої кімнати.