Перестаньте нагрівати сам обладнання: кращий спосіб нагрівання пластин
Ось яка проблема існує під час обробки напівпровідників – потрібно нагріти пластину, але водночас не можна допустити розплавлення внутрішніх частин обладнання.
Більшість звичайних нагрівачів поширюють тепло всюди. Це призводить до зайвого тепла, яке накопичується на корпусі обладнання. Це може призвести до опіків у операторів, а також до деформації корпусу обладнання через високу температуру. Це не найкращий спосіб експлуатації лабораторного обладнання.
Фокусування тепла
Ми вирішуємо цю проблему за допомогою ламп з короткохвильовим інфрачервоним випромінюванням. Замість того, щоб покладатися на повітря для розповсюдження тепла, лампи використовують випромінювання.
Секрет полягає у використанні відбивачів чи фокусних лінз, покритих золотом. Це дозволяє спрямувати тепло безпосередньо на поверхню пластини. Це схоже на використання променевого освітлення замість загального освітлення. Більша частина енергії потрапляє саме туди, куди потрібно, а внутрішні стінки залишаються значно прохолоднішими.
Вибір оптимальної відстані
Тут все залежить від відстані. Якщо лампу розмістити занадто близько, тепло буде надто інтенсивним, і замість однорідної температури виникнуть „гарячі точки“. Але якщо розмістити її занадто далеко, ефективність нагрівання знизиться. Енергія почне розсіюватися, і в результаті буде нагріватися вся кімната, а не лише пластина.
Необхідно правильно вибрати фокусну відстань, враховуючи розмір пластини. Йдеться про досягнення балансу.
Забезпечення безпеки
Мета полягає у тому, щоб корпус обладнання залишався прохолодним на дотик. Шляхом ізоляції джерела інфрачервоного випромінювання та використання спрямованих оптичних елементів ми забезпечуємо, щоб внутрішні стінки залишалися за межами „небезпечної зони“.
Але слід пам’ятати, що лампи високої потужності стають дуже гарячими біля своїх контактів. Охолоджувальні вентилятори чи системи охолодження мають бути достатньо потужними, щоб справлятися з такою потужністю. Якщо система охолодження недостатньо потужна, тепло все одно проникне крізь ізоляцію, незалежно від того, наскільки добре спрямовані лампи.
Ще одна порада: використовуйте кабелі, стійкі до високих температур. Ніхто не хоче мати справу з розплавленою ізоляцією біля контактів ламп.