На виробничій лінії процес висушування фотополімеру не є „паузою“. Це контрольна точка, яку неможливо імітувати.
Навіть незначна зміна температури на 1°C під час процесу висушування може призвести до відхилень критичних розмірів виробу та до погіршення якості поверхні. Ми створили спеціальну лампу для висушування фотополімеру у діапазоні глибокого УФ-випромінювання, яка забезпечує необхідний рівень температури – саме той, який потрібен для процесу, а не той, який формується внаслідок особливостей самої лампи.
Що є важливим під час обробки пластин, так це її повторюваність під навантаженням. Лампа забезпечує однорідність температури на всій поверхні пластини з точністю до ±0,1°C, що безпосередньо сприяє ефективному видаленню розчинників та правильній структуруванню поверхні.
Профіль випромінювання лампи налаштовується для використання у процесах обробки фотополімерів у діапазоні короткохвильового та середньохвильового випромінювання. Швидка реакція лампи на зміни температури дозволяє скоротити час процесу висушування, не втрачаючи при цьому контролю над параметрами процесу.
Сумісність з чистими приміщеннями є невід’ємною характеристикою цього обладнання. У приміщеннях класу 1–100 не утворюється жодних частинок внаслідок дії теплового джерела. Система може працювати 24/7 без жодних перерв.
Це означає, що ви отримуєте точний контроль над температурою під час процесу висушування фотополімеру, що значно зменшує відхилення критичних розмірів виробу та необхідність повторної обробки.
Енергоспоживання також є меншим завдяки спеціальній конструкції лампи. Довгий термін служби елементів лампи означає меншу кількість запасних частин та менше часу на технічне обслуговування.
Це перевірене рішення, яке відповідає міжнародним стандартам обладнання для виробництва напівпровідників. Температурні параметри залишаються стабільними, без необхідності використання обладнання від конкретного виробника.
Одним із важливих факторів є геометрія камери та спосіб розташування пластини в ній. Найкращі результати досягаються, коли лампа підбирається відповідно до особливостей камери та коли параметри процесу оптимізуються для нових умов.
Ми надаємо дані для налаштувань та інструкції щодо використання, щоб зміни були можливо виміряти, а не лише припускати.