http://ir-heating-case.com/tr/tags/wafers/ Recent content in Wafers on Infrared Heating Applications Hugo tr Thu, 02 Jul 2026 09:27:36 +0800 http://ir-heating-case.com/tr/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Thu, 02 Jul 2026 09:27:36 +0800 http://ir-heating-case.com/tr/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="CMP sonrası yonga kurutma ısıtıcısı"></p> <p>Üretim alanında, <a href="https://o-yate.com">slurrydan</a> çıkan ve yüzeyinde hâlâ mikro damlacıklar bulunan Post CMP waferleri, aslında üretim sürecinde başarıya ulaşmış waferlerdir. Su izleri, yeniden birikme ve desenlerin bozulması gibi <a href="https://o-yate.net">sorunlar</a> genellikle litografi ve aşındırma işlemleri sırasında ortaya çıkar. Kurutma ısıtıcısı sadece “istenebilecek bir özellik” değildir; waferin CMP ünitesinden çıkmasından önceki son ısı kontrol noktasıdır.</p> <p><strong>Teknik açıdan önemli olanlar</strong> Post CMP waferlerini kurutmak için kullanılan ısıtıcı, kuvars-halogen kısa dalga emicisine dayanmaktadır. Bu emici enerjiyi hızlı ve doğrudan ileterek çıktının stabil kalmasını sağlar. Wafer yüzeyindeki termal düzenlilik ±0,1°C civarında tutulur; bu da ilk ve son waferler arasında termal farkların oluşmasını engeller.</p> http://ir-heating-case.com/tr/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Tue, 30 Jun 2026 13:07:50 +0800 http://ir-heating-case.com/tr/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="300mm wafer için sabit ısı IR"></p> <p>300 mm boyutundaki yüzeylerde, fırınlama işlemi sırasında profilin bozulmaya başladığını hissedebilirsiniz. Çizgi kalınlıkları değişir ve geliştirme işleminden sonra yüzeyde kirler oluşur. Sıcak bölge belirlenen değerlerle mü<a href="https://goldisgood.com">cadele</a> ettiğinde, foto direnç malzemesi israf edilir ve üretim verimi düşer. Biz de bu tür sorunların ortaya çıkmasını engellemek için kızılötesi sistemi geliştirdik.</p> <p><strong>Teknik açıdan ö<a href="https://o-yate.com">nemli</a> olanlar:</strong><br> Kısa dalga boylu kızılötesi emisyon cihazları, 300 mm boyutundaki yüzeyin <a href="https://henruite.com">termal</a> olarak eşit kalmasını sağlar; yumuşak fırınlama, sert fırınlama ve kurutma işlemleri sırasında yü<a href="https://o-yate.net">zeydeki</a> sıcaklık ±0,1°C aralığında kalır. Hızlı tepki süresi sayesinde sıcaklık değerleri istenen seviyede kalır. Sıcak bölge, Class 1’den Class 100’e kadar olan temiz oda koşullarına uygundur ve düzenli çalışma durumunda hiçbir parçacık üretmez. Böylece 7/24 güvenilirlik elde edilir ve her parti için CD kalitesi ve kalınlığı sabit kalır.</p>