http://ir-heating-case.com/tr/tags/mod%C3%BCler/ Recent content in Modüler on Infrared Heating Applications Hugo tr Tue, 09 Jun 2026 03:55:07 +0800 http://ir-heating-case.com/tr/posts/modular-infrared-heating-array/ Tue, 09 Jun 2026 03:55:07 +0800 http://ir-heating-case.com/tr/posts/modular-infrared-heating-array/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Modüler kızılötesi ısıtma dizisi"></p> <p>Fabrika katında, fotoresist pişirme isteğe bağlı değildir—bu bir termal taahhüttür. Bir wafer boyunca 1.5°C’lik bir sapma, kritik çizgi genişliklerini verim kaybına dönüştürmek için yeterlidir. Modular Infrared Heating Array (Modüler Kızılötesi Isıtma Dizisi), bu gerçeklikle başa çıkmak üzere tasarlandı ve süreç gereksinimleri doğ<a href="https://o-yate.net">rultusunda</a> tekrarlanabilir, ölçülebilir kontrol sağlıyor.</p> <p><strong>Teknik olarak önemli olanlar</strong><br> Dizi, modüler bir düzen içinde yakın kızılötesi yayıcılar kullanır; böylece ısıtılan bölgeyi proses penceresine göre eşleştirebilirsiniz—tam wafer veya die seviyesi. Aktif alan generalinde sıcaklık uniformitesi ±0.1°C’de sabit kalır ve yük değişikliklerinde bile setpoint stabilitesi korur. Temiz oda uyumluluğu dahili olarak sağlanmıştır: Sıfır partikül üretimiyle Class 1–100 çalışması ve düşük gaz çıkaran polimer işlemlerini destekleyen yüzeyler. Soft bake ve hard bake profilleri, sıkı termal bütçe kontrolü ile yürütülür ve kritik boyut bütünlüğünü partiler arasında korur.</p>