http://ir-heating-case.com/tr/tags/cmp/ Recent content in CMP on Infrared Heating Applications Hugo tr Thu, 02 Jul 2026 09:27:36 +0800 http://ir-heating-case.com/tr/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Thu, 02 Jul 2026 09:27:36 +0800 http://ir-heating-case.com/tr/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="CMP sonrası yonga kurutma ısıtıcısı"></p> <p>Üretim alanında, <a href="https://o-yate.com">slurrydan</a> çıkan ve yüzeyinde hâlâ mikro damlacıklar bulunan Post CMP waferleri, aslında üretim sürecinde başarıya ulaşmış waferlerdir. Su izleri, yeniden birikme ve desenlerin bozulması gibi <a href="https://o-yate.net">sorunlar</a> genellikle litografi ve aşındırma işlemleri sırasında ortaya çıkar. Kurutma ısıtıcısı sadece “istenebilecek bir özellik” değildir; waferin CMP ünitesinden çıkmasından önceki son ısı kontrol noktasıdır.</p> <p><strong>Teknik açıdan önemli olanlar</strong> Post CMP waferlerini kurutmak için kullanılan ısıtıcı, kuvars-halogen kısa dalga emicisine dayanmaktadır. Bu emici enerjiyi hızlı ve doğrudan ileterek çıktının stabil kalmasını sağlar. Wafer yüzeyindeki termal düzenlilik ±0,1°C civarında tutulur; bu da ilk ve son waferler arasında termal farkların oluşmasını engeller.</p>