Ekipmanlarınızı Isıtmayı Bırakın: Wafleri Isıtmanın Daha İyi Yolu
Yarı iletken işleme süreçlerinde karşılaşılan zorluk şudur: Wafleri yüksek sıcaklığa getirmek gerekiyor, ancak bunu yaparken makinenin iç kısımlarının erimesini istemiyoruz.
Çoğu standart ısıtıcı, enerjiyi her yöne dağıtır. Bu da dağınıklığa neden olur. Bu atık ısı, makinenin gövdesinde birikir; bu da operatörlerin yanmasına ve makine gövdesinin ısından dolayı deforme olmasına yol açar. Bu, bir laboratuvar için pek iyi bir yöntem değildir.
Isının Hedefe Yönlendirilmesi
Bunu, kısa dalga boyundaki kızılötesi lambalar kullanarak çözüyoruz. Isının havanın yardımıyla hareket ettirilmesi yerine, kızılötesi lambalar radyasyon kullanır. Buradaki püf nokta, altın kaplamalı yansıtıcılar veya odak lensleri kullanmaktır. Bu sayede ısı akışını doğrudan waferin yüzeyine yönlendirebiliriz. Bu, floresan lambalar yerine spot lambalar kullanmak gibidir. Enerjinin büyük bir kısmı istenen yere gider ve iç duvarlar çok daha serin kalır.
En İyi Mesafenin Belirlenmesi
Burada mesafe çok önemlidir. Lambayı çok yakına koyarsanız ısı çok yüksek olur ve düzgün bir sıcaklık elde edilemez. Ancak lambayı çok uzakta tutarsanız verimlilik kaybolur. Enerji her yana dağılır ve sonunda tüm oda ısınır, sadece wafer değil.
Waferin boyutuna göre odak uzunluğunu doğru şekilde belirlemek gerekiyor. Bu, bir denge meselesidir.
Güvenliği Sağlama
Amaç, dıştan dokunduğunuzda soğuk olan bir makinedir. Kızılötesi kaynağı izole ederek ve bu yönlendirici optik elemanları kullanarak, iç duvarların yanma riski olan “tehlikeli bölge”nin altında kalmasını sağlarız.
Ancak unutmayın ki, yüksek güçlü lambaların kaynağı inanılmaz derecede sıcak olur. Soğutma fanlarınız veya su soğutma sistemleriniz, gerekli gücü karşılayabilecek kadar güçlü olmalıdır. Eğer soğutma sistemi yetersizse, lambalar ne kadar iyi hedeflense de ısı yine de yalıtım katmanlarını delip geçecektir.
Bir diğer ipucu ise yüksek sıcaklıkta çalışabilen kablolar kullanmaktır. Kimse lamba soketlerinin yakınında erimiş yalıtım malzemeleriyle uğraşmak istemez.