Fabrikada işler şöyle yürür: Fotoresistin pişirilmesi sırasında meydana gelen 0,5°C’lik bir değişiklik bile kritik ölçümleri nanometreler düzeyinde etkileyebilir ve tüm üretimi boşa çıkarabilir. RTP sadece ısıyla ilgili bir konu değildir; aynı zamanda temiz oda koşullarına aykırı olmayacak şekilde tekrarlanabilir ve yonga seviyesinde istikrarlı bir ısı kontrolü sağlar.
Önemli olanlar
Bu halojen lambalarını kısa dalga boyundaki kızılötesi ışık ve kuvars kaplamalar kullanarak ürettik. Böylece tepki hızı yüksek olur ve ısı gecikmesi minimum düzeyde kalır. İşlem bölgesinde ±0,1°C içinde bir homojenlik elde edilir; bu da yumuşak ve sert pişirme sıcaklıklarını sabit tutmak için gereken şeydir. Lamba montajı, 1–100 sınıfı temiz odalara uygun şekilde tasarlanmıştır; malzemeler ve geometri, parçacık sayısını azaltmak için seçilmiştir. Lambanın verimi 5.000 saatten fazla süre boyunca stabil kalır ve lümen düşüşü %5’in altındadır. Bu sayede her hafta yeniden kalibrasyon yapmadan uzun süreli işlemler yapılabilir.
Litografi ve RTP açısından neden önemli?
Buradaki ısı kontrolü oldukça hassastır. Daha yüksek homojenlik, yonga kenarlarındaki kusurları azaltır, CD kontrolünü iyileştirir ve ilk denemede elde edilen verimi artırır. Daha hızlı ısı artış oranları, maksimum gücü aşmadan işlem süresini kısaltır. Sürecin temiz ve parçacıksız kalması, daha az atık ürün ve daha az yeniden işleme gerektirir. Ayrıca, sistemin hızlı bir şekilde ayar noktasına ulaşıp orada kalması, ısı dalgalanmaları nedeniyle enerji israfını azaltır.
Bazı pratik bilgiler
±0,1°C’lik bu homojenlik aralığını korumak için eşleşen reflektörler ve hassas odaklama gereklidir. Bunları mevcut RTP cihazlarına entegre etmek oldukça kolaydır; ancak kuvars kaplamaların dikkatli bir şekilde işlenmesi ve temiz bir şekilde monte edilmesi gerekir. Buradaki küçük çizikler ileride parçacık kaynaklarına dönüşebilir. Karar vermeden önce, kendi işlem prosedürleriniz üzerinde kısa bir test yaparak ısı artış profillerini ve bekleme sürelerini belirleyin.