http://ir-heating-case.com/ru/tags/rtp/ Recent content in RTP on Infrared Heating Applications Hugo ru Fri, 26 Jun 2026 05:30:23 +0800 http://ir-heating-case.com/ru/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Fri, 26 Jun 2026 05:30:23 +0800 http://ir-heating-case.com/ru/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Галогенная лампа для системы RTP"></p> <p>На производственном участке все происходит следующим образом: даже небольшое изменение температуры в 0,5°C во время процедуры обработки фотополимера может привести к смещению критических размеров до нескольких нанометров, что может привести к порче всей партии продукции. Процедура RTP связана не только с тепловыми эффектами, но и с необходимостью точного контроля температуры на уровне каждой пластины, при этом не должно возникать конфликтов с условиями чистой комнаты.</p> <p><strong>Что имеет значение внутри устройства</strong><br> Мы разработали эти галогенные лампы с использованием коротковолнового инфракрасного излучения и кварцевого корпуса. Благодаря этому реакция лампы на изменения температуры происходит быстро, без значительных задержек. Таким образом, достигается однородность температуры на уровне каждой пластины в пределах ±0,1°C, что крайне важно для поддержания стабильной температуры во время процедур обработки. Корпус лампы соответствует требованиям чистых комнат класса 1–100; выбранные материалы и конструкция способствуют снижению количества частиц. Работа лампы остается стабильной в течение более 5 000 часов, при этом падение яркости составляет менее 5%, что позволяет проводить длительные процессы без необходимости перекалибровки каждую неделю.</p>