Сушка on Infrared Heating Applications

Нагреватель для сушки пластин с датчиками MEMS

Mon, 20 Jul 2026 11:46:38 +0800

Прекратите угадывать время сушки пластин: почему именно инфракрасное излучение — лучший выбор
При сушке пластин для МЭМС-датчиков вы работаете с влагой, что представляет опасность. Один неверный шаг может привести к тому, что поверхностное натяжение сведет вместе все эти крошечные, хрупкие микроструктуры. Это явление называется «сцеплением», и оно представляет серьезную проблему для тех, кто стремится добиться высокой производительности.

Если вы строите современный завод по производству полупроводников, нельзя полагаться на старые методы. Необходимо использовать такой источник тепла, который будет работать эффективно.

Энергетический аудит для сушильных установок

Mon, 13 Jul 2026 17:53:16 +0800

Перестаньте беспокоиться о загрязнении в процессе сушки ваших кристаллов. Когда вы работаете в чистой комнате класса 100, здесь нет места для ошибок. Одна-единственная крупинка пыли или небольшое количество газов, выделяемых дешевым нагревательным элементом, могут повредить ваши кремниевые пластины. Это настоящий кошмар.

Поэтому мы перешли на инфракрасные лампы из высокочистого синтетического кварца.

Почему кварц подходит для использования
Мы используем фуссированный кремний, от которого удалены практически все примеси. Почему? Потому что при высоких температурах обычные материалы начинают разрушаться. Они выделяют металлические ионы и летучие органические вещества, что может повлиять на процесс производства. Кварц не имеет таких проблем.

Нагреватель для сушки пластин после процедуры CMP

Thu, 02 Jul 2026 09:27:36 +0800

На участке обработки пластин после процедуры CMP пластина, выходящая из раствора, все еще содержит микрокапли жидкости на своей поверхности. Это означает, что такая пластина готова к дальнейшей обработке. Проблемы в виде следов от воды, повторного нанесения слоев и искажения структуры пластины обычно возникают позже, уже на этапе литографии и эрозии. Устройство для сушки – это не просто удобный аксессуар; это последний этап термической обработки перед тем, как пластина покидает установку CMP.

Что имеет значение с технической точки зрения Мы разработали устройство для сушки пластин после процедуры CMP на основе кварцевого галогенового излучателя коротких волн. Он обеспечивает быстрое и прямое передачу энергии, при этом мощность остается стабильной. Равномерность температуры по всей поверхности пластины контролируется на уровне ±0,1°C, что достигается благодаря использованию специальных материалов. Благодаря этому температурные параметры остаются стабильными как для первой, так и для последней пластин.

Лампа для сушки в процессе производства OLED дисплеев

Tue, 23 Jun 2026 00:57:25 +0800

При использовании технологии OLED-литографии не остается никакой возможности для тепловых отклонений. Даже незначительные отклонения в диапазоне ±0,5°C могут привести к нарушению однородности слоя фоторезиста, а также к проблемам с процессом его этчинга. Необходимо использовать лампу для сушки, которая будет работать с точностью, а не менять свои параметры в течение дня.

Что мы создали и почему
Мы разместили лампу для сушки OLED внутрь кварцевого корпуса с использованием галогенных излучателей с коротковолновым инфракрасным излучением. Это позволяет быстро передавать энергию в фоторезист без значительного нагрева подложки. Система контроля обеспечивает стабильность температуры в диапазоне ±0,1°C по всей поверхности пластины, а точность повторяемости составляет 0,05°C за цикл.

Быстрая сушка пластин инфракрасным излучением

Sun, 31 May 2026 05:06:34 +0800

На линии часы — это не рекомендация, а предел. После нанесения методом центрифугирования на пластине остаётся тонкая плёнка фоторезиста, которую необходимо кондиционировать и высушить перед экспозицией. Если Soft bake не выдержан точно, профиль резиста смещается. Если Hard bake после экспозиции проведён неравномерно, допускаемые погрешности травления снижаются. И если на последнем этапе сушки остаются следы воды или поднимаются частицы, на следующий день в отчёте о выходе продукции это отразится напрямую.

Мы разработали нашу систему быстрого инфракрасного высушивания пластин, чтобы исключить эти переменные из тепловых этапов. Речь идёт не просто о нагреве, а о повторяемом термическом контроле на уровне пластины, который вписывается в производственный цикл и бюджет чистой комнаты.