ИК on Infrared Heating Applications

Керамическая заглушка для излучателя ИК света

Tue, 21 Jul 2026 04:13:55 +0800

Как поддерживать чистоту в чистой комнате класса 100
При эксплуатации чистой комнаты класса 100 проблема с отоплением является довольно серьезной. Речь идет не столько о температуре, сколько о невидимых загрязнителях.

Стандартные инфракрасные лампы славятся тем, что из своих концов выпускают мелкие металлические частицы. Если такая частица попадет на пластину или оптическое покрытие, это приведет к потере большой суммы денег.

Мы решили эту проблему, используя высокочистые кварцевые трубки в сочетании с специальными керамическими крышками. Вот как это работает.

Точный инфракрасный датчик для пластин

Tue, 21 Jul 2026 04:06:46 +0800

Как предотвратить разрушение ламп: как сохранить чистоту пластин при отказе инфракрасных ламп
На производствах полупроводников высокого объема отказ лампы – это не просто проблема с временем простоя оборудования. Это настоящий кошмар. Когда разрывается кварцевая трубка, по всему помещению разлетаются осколки стекла и газы. Один такой случай может привести к тому, что весь партия пластин станет бесполезной. Мы потратили много времени на поиск способов предотвращения этого, сосредоточив внимание на конструкции ламп и материалах, из которых они изготовлены.

Равномерное нагревание для пластины диаметром 300 мм в инфракрасном диапазоне

Tue, 30 Jun 2026 13:07:50 +0800

На линиях обработки пластин размером 300 мм можно заметить проблемы, когда профиль нагрева начинает отклоняться от заданных параметров. Ширина линий становится нестабильной, а после процесса обработки появляется избыточный осадок. Когда горячая зона не справляется с заданными параметрами нагрева, это приводит к потерям в качестве фотополимера, что в свою очередь влияет на конечный результат обработки. Мы разработали инфракрасную систему, которая предотвращает такие проблемы ещё до того, как они возникают.

Что имеет значение с технической точки зрения
Массив инфракрасных излучателей с короткими волнами настроен так, чтобы обеспечить равномерность температуры на всей поверхности пластины — в пределах ±0,1°C в процессе мягкого и жесткого нагрева, а также в процессе высыхания. Быстрая реакция системы на изменения температуры позволяет избежать задержек, благодаря чему температура соответствует заданным параметрам без перепадов. Горячая зона соответствует стандартам чистых комнат класса 1–100; при работе в постоянном режиме она не выделяет никаких частиц. Это обеспечивает непрерывную работу системы 24/7 без простоев, а также стабильность параметров качества продукции.