Вафля on Infrared Heating Applications

Нагреватель для сушки пластин после процедуры CMP

Thu, 02 Jul 2026 09:27:36 +0800

На участке обработки пластин после процедуры CMP пластина, выходящая из раствора, все еще содержит микрокапли жидкости на своей поверхности. Это означает, что такая пластина готова к дальнейшей обработке. Проблемы в виде следов от воды, повторного нанесения слоев и искажения структуры пластины обычно возникают позже, уже на этапе литографии и эрозии. Устройство для сушки – это не просто удобный аксессуар; это последний этап термической обработки перед тем, как пластина покидает установку CMP.

Что имеет значение с технической точки зрения Мы разработали устройство для сушки пластин после процедуры CMP на основе кварцевого галогенового излучателя коротких волн. Он обеспечивает быстрое и прямое передачу энергии, при этом мощность остается стабильной. Равномерность температуры по всей поверхности пластины контролируется на уровне ±0,1°C, что достигается благодаря использованию специальных материалов. Благодаря этому температурные параметры остаются стабильными как для первой, так и для последней пластин.

Равномерное нагревание для пластины диаметром 300 мм в инфракрасном диапазоне

Tue, 30 Jun 2026 13:07:50 +0800

На линиях обработки пластин размером 300 мм можно заметить проблемы, когда профиль нагрева начинает отклоняться от заданных параметров. Ширина линий становится нестабильной, а после процесса обработки появляется избыточный осадок. Когда горячая зона не справляется с заданными параметрами нагрева, это приводит к потерям в качестве фотополимера, что в свою очередь влияет на конечный результат обработки. Мы разработали инфракрасную систему, которая предотвращает такие проблемы ещё до того, как они возникают.

Что имеет значение с технической точки зрения
Массив инфракрасных излучателей с короткими волнами настроен так, чтобы обеспечить равномерность температуры на всей поверхности пластины — в пределах ±0,1°C в процессе мягкого и жесткого нагрева, а также в процессе высыхания. Быстрая реакция системы на изменения температуры позволяет избежать задержек, благодаря чему температура соответствует заданным параметрам без перепадов. Горячая зона соответствует стандартам чистых комнат класса 1–100; при работе в постоянном режиме она не выделяет никаких частиц. Это обеспечивает непрерывную работу системы 24/7 без простоев, а также стабильность параметров качества продукции.

Лучший продаваемый вафельный обогреватель 2026

Mon, 08 Jun 2026 05:25:51 +0800

На производственном этаже несколько градусов могут определить, пройдет ли пластина или уйдет в утиль. Один горячий участок во время мягкого запекания или твердого запекания — и вы получите линию, которая вовсе не равномерна. Пластина выходит из станции, уже превысив свой тепловой бюджет.
Мы разработали Wafer Heater 2026, чтобы устранить эту переменную.
Что важно внутри устройства
Платформа использует коротковолновые инфракрасные (SWIR) галогенные излучатели внутри кварцевой камеры с усилением, настроенной на тепловую однородность на уровне пластины ±0,1°C по всей поверхности подложки. Повторяемость от цикла к циклу удерживается в пределах ±0,2°C, таким образом критические профили запекания — мягкое, твердое и постаппликационное — остаются в пределах спецификации.
Совместима с классом чистоты помещений от 1 до 100, изготовлена из материалов с низким выделением газов и оснащена воздушным потоком с контролем за частицами, что предотвращает увеличение фона. Отсутствие генерации частиц в зоне нагрева — не маркетинговое утверждение, а конструктивное требование, подтверждаемое in-situ метрологией.
Система рассчитана на круглосуточную эксплуатацию с проверенным на практике MTBF и обслуживаемыми модулями, что обеспечивает минимизацию непредвиденных простоев.
Почему он востребован при литографии и обработке фоторезиста
Температура задает параметры контроля CD, наклона профиля и плотности дефектов. При поддержании нагревателем профилей запекания в более узких пределах вы получаете меньше повторных переделок, меньше брака и выполнение квалификационных циклов точно по графику.
Энергопотребление снижается за счет быстрого выхода на заданную температуру и низких потерь в режиме ожидания. Это позволяет снизить эксплуатационные расходы без снижения производительности. Результат проявляется в стабильной ширине линий, уменьшении количества дефектов и надежном выходе годной продукции.
Практические детали
Для стабильной температуры излучателей при длительных сериях потребуется выделенная цепь 230 V и проверенное качество охлаждающей жидкости. Занимаемая площадь компактна, но интеграция требует планирования. Необходимо подтвердить совместимость с PLC инструмента, согласование разъемов и организацию локальной вентиляции до установки.
После настройки модуль работает в режиме «установил и забыл», обеспечивая стабильность процесса.

Быстрая сушка пластин инфракрасным излучением

Sun, 31 May 2026 05:06:34 +0800

На линии часы — это не рекомендация, а предел. После нанесения методом центрифугирования на пластине остаётся тонкая плёнка фоторезиста, которую необходимо кондиционировать и высушить перед экспозицией. Если Soft bake не выдержан точно, профиль резиста смещается. Если Hard bake после экспозиции проведён неравномерно, допускаемые погрешности травления снижаются. И если на последнем этапе сушки остаются следы воды или поднимаются частицы, на следующий день в отчёте о выходе продукции это отразится напрямую.

Мы разработали нашу систему быстрого инфракрасного высушивания пластин, чтобы исключить эти переменные из тепловых этапов. Речь идёт не просто о нагреве, а о повторяемом термическом контроле на уровне пластины, который вписывается в производственный цикл и бюджет чистой комнаты.