http://ir-heating-case.com/ru/tags/%D0%B1%D1%8B%D1%81%D1%82%D1%80%D1%8B%D0%B9/ Recent content in Быстрый on Infrared Heating Applications Hugo ru Sun, 31 May 2026 05:06:34 +0800 http://ir-heating-case.com/ru/posts/rapid-wafer-drying-infrared/ Sun, 31 May 2026 05:06:34 +0800 http://ir-heating-case.com/ru/posts/rapid-wafer-drying-infrared/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Быстрая сушка пластин инфракрасным излучением"></p> <p>На линии часы — это не рекомендация, а предел. После нанесения методом центрифугирования на пластине остаётся тонкая плёнка фоторезиста, которую необходимо кондиционировать и высушить перед экспозицией. Если Soft bake не выдержан точно, профиль резиста смещается. Если Hard bake после экспозиции проведён неравномерно, допускаемые погрешности травления снижаются. И если на последнем этапе сушки остаются следы воды или поднимаются частицы, на следующий день в отчёте о выходе продукции это отразится напрямую.</p> <p>Мы разработали нашу систему быстрого инфракрасного высушивания пластин, чтобы исключить эти переменные из тепловых этапов. Речь идёт не просто о нагреве, а о повторяемом термическом контроле на уровне пластины, который вписывается в производственный цикл и бюджет чистой комнаты.</p>