Почему мы отказались от использования озона в устройствах инфракрасной обработки
На производствах полупроводников чистота – это не просто цель, а нечто более важное. Если остается хоть небольшое количество химических остатков, это уже проблема. Поэтому мы перешли на инфракрасные лампы без использования озона.
Большинство традиционных систем с коротковолновым излучением случайно выделяют озон в качестве побочного продукта. Это не очень хорошо. Используя лампы без озона, мы не только соответствуем стандартам экологичности, но и защищаем оборудование.
Научные основы
Стандартные инфракрасные лампы излучают свет в диапазоне 185–254 нм. Эта энергия воздействует на кислород в воздухе, разделяя его на составляющие, в результате чего образуется озон.
В чистых помещениях озон представляет серьезную угрозу: он разрушает тонкие металлические элементы и органические полимеры. Чтобы этого избежать, мы используем специальные покрытия и добавки в кварцевых трубках. Они выполняют роль фильтра, блокируя излучение в ультрафиолетовом диапазоне.
Вы все равно получаете необходимую интенсивность тепла, но при этом нет никаких коррозийных газов.
Прекратите нагрев воздуха
Представьте себе огромную конвекционную печь. Вы тратите много денег и энергии лишь на нагрев воздуха. Это расточительно.
Инфракрасные лампы работают иначе: они нагревают сам материал напрямую. Это быстрее и экономичнее. Поскольку мы не тратим энергию на нагрев всего помещения, потребление энергии на обработку одного кристалла значительно снижается. Вы нагреваете сам материал, а не окружающую среду.
Честная правда о переходе на новые лампы
Я не буду говорить, что это волшебный решение. Есть несколько моментов, которые нужно учитывать.
Поскольку мы фильтруем определенные длины волн для предотвращения образования озона, спектральное распределение излучения меняется. Нельзя просто включить лампу и забыть обо всем. Вероятно, потребуется настроить скорость конвейера или высоту лампы, чтобы получить желаемый результат.
А если вы используете высокоскоростные линии обработки? Убедитесь, что контроллеры PID настроены под конкретное время реакции этих ламп.
Хорошая новость заключается в том, что эти лампы можно использовать в качестве замены старым. Вы можете сохранить свою текущую конфигурацию, но больше не будете беспокоиться о загрязнениях.