Lâmpada halógena para sistema RTP

Fri, 26 Jun 2026 05:30:23 +0800

Na linha de produção, você sabe como é: uma variação de 0,5°C durante o processo de secagem do fotorelevo pode fazer com que uma dimensão crítica mude em nanômetros, o que acaba por invalidar todo um lote de produtos. O RTP não se trata apenas de calor – trata-se de um controle térmico preciso, em nível de wafer, sem interferência com as condições do ambiente controlado.

O que realmente importa Desenvolvemos essas lâmpadas de halogênio com base em radiação infravermelha de onda curta e um envoltório de quartzo, o que permite uma resposta rápida, com mínimo atraso térmico. Isso garante uma uniformidade em nível de wafer de até ±0,1°C ao longo toda a área de processamento, o que é exatamente o necessário para manter as temperaturas ideais durante os processos de secagem. A estrutura da lâmpada é compatível com ambientes controlados de classe 1–100, com materiais e geometrias escolhidos para minimizar a presença de partículas. A potência de saída permanece estável por mais de 5.000 horas, com uma redução de menos de 5% nos lúmens, permitindo assim operações prolongadas sem a necessidade de recalibração a cada duas semanas.

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Lâmpada halógena para sistema RTP