No chão de fábrica, a deriva térmica não aparece com um aviso. Ela se manifesta na queda do rendimento da linha, em um pico de partículas no monitor ou em um perfil de fotorresiste que começa a variar a cada turno. Na secagem de wafers, no soft bake e hard bake de fotorresiste e na cura de embalagens, a temperatura não é apenas um ajuste — é o processo pelo qual você é responsável.
O que importa no funcionamento interno
Projetamos secadores e módulos de bake com controle térmico rigoroso: uniformidade de ±0,1°C na zona quente, medida no plano do wafer e não no bloco do aquecedor. IR próximo (NIR) e IR de onda média direcionam a energia diretamente para o filme e o resiste, permitindo ciclos mais rápidos sem ultrapassagem da temperatura desejada. Aquecedores de fibra de carbono mantêm a estabilidade e repetibilidade dos contatos térmicos. O conjunto é compatível com salas limpas de Classe 1 a Classe 100, com geração zero de partículas na interface do processo e exaustão que evita contaminação. A repetibilidade é projetada — os pontos de ajuste se mantêm dentro da tolerância hora após hora, lote após lote.
Por que mantém desempenho na produção
Nas linhas de litografia, a mesma unidade executa soft bake e hard bake com perfis consistentes, evitando variações de CD e espessura que possam causar problemas. Em limpeza e secagem, leva os wafers a um estado seco e sem manchas, sem choque térmico. Na embalagem, cura encapsulantes e underfills conforme o cronograma, evitando juntas frias. O resultado são tempos de ciclo previsíveis, menos lotes descartados e orçamentos térmicos estáveis. O consumo de energia diminui porque os aquecedores atingem rapidamente o ponto de ajuste e o mantêm sem ligar e desligar constantemente.
O que você precisa planejar
A plataforma se encaixa em trilhos e fornos existentes, porém a área ocupada e o encaminhamento da exaustão devem atender às restrições da fábrica. Reserve tensão dedicada e aterramento para manter a uniformidade onde for necessária, e considere uma curta janela de comissionamento para ajustar os perfis ao seu empilhamento de filmes. Uma vez configurado, o sistema opera 24/7 com manutenção rotineira apenas.