Części grzejników dla oporników ultrafioletu ekstremalnego (EUV)

Sun, 05 Jul 2026 13:15:47 +0800

Ekstremalne ogrzewanie elementów odpornych na promieniowanie UV: Prawda inżynierska
Tworzymy nasze elementy grzewcze do użytku w technologii EUV tak, aby mogły konkurować z najlepszymi produktami amerykańskich i japońskich producentów. Jaka jest różnica? Dostarczamy ten sam poziom wydajności, ale robiąc to bez konieczności ponoszenia wysokich kosztów.

Nigdy nie rezygnujemy z zasad fizyki. W procesach litografii i obróbki elementów odpornych na promieniowanie UV potrzebna jest stała temperatura, co za każdym razem jest kluczowe. I właśnie to nam zapewniamy. Ustawiamy taką intensywność mocy, napięcie i geometrię, aby lampa mogła pracować godzinami bez żadnych problemów.

Lampa do wysuszania opornika dla głębokiego UV (DUV)

Sun, 28 Jun 2026 06:08:52 +0800

Na linii produkcyjnej proces wysuszania fotoopornika nie stanowi „przerwy” – jest to punkt kontrolny, którego nie można oszukać. Nawet niewielka zmiana temperatury o 1°C podczas procesu wysuszania może powodować odchylenia od wymaganych wartości parametrów produktu, a także pogorszenie jakości krawędzi linii. Nasze lampy do wysuszania fotoopornika typu Deep UV są zaprojektowane tak, aby utrzymać odpowiednią temperaturę w miejscach, gdzie jest to konieczne dla procesu, a nie tam, gdzie lampa się znajduje.

Ważna jest tu powtarzalność procesu przy pracy urządzenia. Lampy zapewniają jednolitość temperatury na całej powierzchni wafla w zakresie ±0,1°C, co przekłada się na doskonałe usuwanie rozpuszczalników oraz stabilne zachowanie materiału podczas procesu wysuszania.

UV on Infrared Heating Applications

Części grzejników dla oporników ultrafioletu ekstremalnego (EUV)

Lampa do wysuszania opornika dla głębokiego UV (DUV)