http://ir-heating-case.com/pl/tags/tablica/ Recent content in Tablica on Infrared Heating Applications Hugo pl Tue, 09 Jun 2026 03:55:08 +0800 http://ir-heating-case.com/pl/posts/modular-infrared-heating-array/ Tue, 09 Jun 2026 03:55:08 +0800 http://ir-heating-case.com/pl/posts/modular-infrared-heating-array/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Modułowy system grzewczy na podczerwień"></p> <p>Na hali produkcyjnej pieczenie photoresistu nie jest opcjonalne — to zobowiązanie termiczne. Odchylenie o 1,5°C na powierzchni wafla wystarczy, aby krytyczne szerokości linii przestały spełniać wymogi, a wydajność zaczęła spadać. Zbudowaliśmy Modular Infrared Heating Array, aby dostosować się do tej rzeczywistości, zapewniając powtarzalną i mierzalną kontrolę, ponieważ tego wymaga proces.</p> <p><strong>Co ma znaczenie, technicznie</strong></p> <p>Tablica wykorzystuje emitery bliskiej podczerwieni w układzie modułowym, co pozwala dopasować podgrzewaną strefę do okna procesowego — zarówno na poziomie całego wafla, jak i pojedynczego układu scalonego. Jednorodność temperatury utrzymuje się na poziomie ±0,1°C w obszarze aktywnym, a stabilność nastawy jest zachowana nawet przy zmianie obciążenia. Zintegrowana jest kompatybilność z cleanroomem: klasa 1–100 pracy bez generowania cząstek oraz powierzchnie wspierające procesy niskiego wydzielania polimerów. Profile soft bake i hard bake są realizowane przy ścisłej kontroli bilansu cieplnego, co umożliwia utrzymanie integralności wymiarów krytycznych w całych seriach.</p>