IR on Infrared Heating Applications

Keramiczna główka końcowa dla emitera IR

Tue, 21 Jul 2026 04:13:57 +0800

Utrzymanie sterylności pomieszczenia klasy 100

Gdy zarządzasz pomieszczeniem klasy 100, ogrzewanie stanowi prawdziwy koszmar. Nie chodzi tu nawet o temperaturę – chodzi o te niewidzialne czynniki, które mogą zakłócić czystość pomieszczenia.

Czujnik IR o wysokiej precyzji do płytek krzemowych

Tue, 21 Jul 2026 04:06:46 +0800

Zapobieganie rozpryskom: utrzymanie czystości płytek krzemowych gdy lampy IR przestają działać

W zakładach produkujących półprzewodniki w dużych ilościach awaria lampy to coś znacznie poważniejszego niż zwykłe opóźnienia w produkcji. To prawdziwy koszmar.
Gdy pęknie rurka kwarcowa, wszędzie latają odłamki szkła oraz gaz halogenowy. Już jeden taki incydent sprawia, że cała partia płytek staje się bezużyteczna. Włożyliśmy wiele czasu w znalezienie sposobów, by temu zapobiec, skupiając się na sposobie budowy lamp oraz na materiałach, z których są one zrobione.
Utrzymanie bałaganu wewnątrz
Nie ufamy ani jednej warstwie szkła. Zamiast tego używamy dwuwarstwowego rozwiązania. Główna rurka kwarcowa odpowiada za odbieranie ciepła, ale dodajemy jeszcze drugą warstwę ochronną lub specjalną powłokę. Można to porównać do polisy ubezpieczeniowej – jeśli żarnik się zepsuje lub rurka pęknie pod wpływem ciśnienia, odłamki pozostaną w środku. Nie musisz się martwić o to, że odłamki szkła spadną na twoje płytki krzemowe.
To, co naprawdę ma znaczenie
Używamy syntetycznego kwarcu o wysokiej czystości – tańszy kwarc zawiera zanieczyszczenia, które w wysokich temperaturach zamieniają się w gaz, co powoduje powstawanie niechcianych zabarwień na płytkach krzemowych.
Łącznie z tym uważnie monitorujemy gęstość mocy emitowanej przez lampę. Żadnych lokalnych punktów nadmiernego nagrzewania.
Oto kilka porad: nie próbuj „przeciążyć” lampy. Wiem, że kuszące jest podniesienie napięcia, aby szybciej osiągnąć pożądaną temperaturę, ale wtedy tylko uszkadzasz lampę. To skraca jej żywotność i zwiększa ryzyko jej uszkodzenia. Upewnij się, że zasilanie jest dostosowane dokładnie do impedancji lampy.
Poprawne uruchomienie lampy w zakładzie
Połączenia muszą być szczelne. Używamy standardowych złącz – luźne połączenia powodują powstawanie iskr. Te iskry powodują naprężenia termiczne na końcach lampy, co jest przyczyną jej awarii.
Proszę również uważać podczas instalacji. Korzystaj z procedur obowiązujących w czystych pomieszczeniach. Nawet jeden odcisk palca na powierzchni kwarcu może stanowić źródło naprężeń. Gdy lampa wejdzie w kolejny cykl nagrzewania, ten mały odcisk może stać się przyczyną jej awarii. Przed montażem należy delikatnie wyczyścić powierzchnię kwarcu za pomocą roztworu IPA.
Na koniec – uważaj na chłodzenie lampy. Jeśli system nie potrafi utrzymać temperatury na końcach lampy poniżej 200°C, uszczelki się zniszczą. A gdy uszczelki zostaną uszkodzone, rurka też się zniszczy.

Równomierne nagrzewanie dla płyty o grubości 300 mm IR

Tue, 30 Jun 2026 13:07:50 +0800

Na linii o długości fali 300 mm można to wyczuć, gdy profil termicznego procesu obróbki zaczyna się zmieniać. Szerokość linii na taśmie zmienia się, a po procesie wywoływania pojawiają się niepożądane efekty. Gdy strefa ciepła nie jest skonfigurowana prawidłowo, zużywa się więcej materiału fotorezystowego, co negatywnie wpływa na jakość produktu. Nasze urządzenie do emitowania promieniowania podczerwonego zostało zaprojektowane tak, aby zapobiec temu problemowi jeszcze przed jego wystąpieniem.

Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Miejsce emisji krótkofalowych promieni podczerwonych jest dostosowane do uzyskania jednolitej temperatury na całej powierzchni płyty o wymiarach 300 mm – różnica temperatur wynosi ±0,1°C podczas procesów obróbki. Szybka reakcja systemu na zmiany temperatury sprawia, że temperatura utrzymuje się w wymaganym zakresie bez przerostów. Strefa ciepła jest kompatybilna z warunkami w czystych pomieszczeniach od klasy 1 do klasy 100, a w stanie stabilnym nie wytwarza żadnych cząstek. Dzięki temu uzyskujemy nieprzerwaną pracę przez 24 godziny na dobę, bez awarii, a również wysoką powtarzalność procesu, co gwarantuje, że wymiary i grubość warstwy pozostają na poziomie założonym.