http://ir-heating-case.com/nl/tags/uniform/ Recent content in Uniform on Infrared Heating Applications Hugo nl Tue, 30 Jun 2026 13:07:50 +0800 http://ir-heating-case.com/nl/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Tue, 30 Jun 2026 13:07:50 +0800 http://ir-heating-case.com/nl/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Gelijke hitte voor 300mm wafer IR"></p> <p>Op de 300mm-lijn merk je dat er problemen ontstaan wanneer het bakproces niet meer naar behoren verloopt. De randen van de afbeelding worden onregelmatig, en na het ontwikkelen zie je ongewenste afwijkingen. Wanneer de hete zone niet goed werkt, wordt de <a href="https://goldisgood.com">kwaliteit</a> van de fotoresistent verminderd – dit heeft invloed op de productiekwaliteit. We hebben onze infraroodinstallatie zo ontworpen dat deze dit soort problemen voorkomt, nog voordat ze zich voordoen.</p> <p><strong>Wat technisch gezien belangrijk is:</strong> De array van kortgolfinfraroodemissies is afgestemd op een constante temperatuur over het hele oppervlak van de siliciumplaat: ±0,1°C. Dit blijft het geval tijdens het zachte en harde bakken. De snelle respons van het systeem zorgt ervoor dat de temperatuur precies op het gewenste niveau blijft. De hete zone is compatibel met cleanrooms van klasse 1 tot en met klasse 100. Hij produceert geen deeltjes tijdens het gebruik. Hierdoor is het systeem 24/7 betrouwbaar, zonder onverwachte stilstanden. Bovendien <a href="https://o-yate.net">blijven</a> de afmetingen consistent van batch tot batch.</p>