http://ir-heating-case.com/nl/tags/rtp/ Recent content in RTP on Infrared Heating Applications Hugo nl Fri, 26 Jun 2026 05:30:24 +0800 http://ir-heating-case.com/nl/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Fri, 26 Jun 2026 05:30:24 +0800 http://ir-heating-case.com/nl/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Halogeenlamp voor RTP systeem"></p> <p>Op de productieafdeling weet je hoe het werkt: een verschil van 0,5°C tijdens het drogen van de fotoresist kan ertoe leiden dat een cruciale dimensie enkele nanometers verandert. Dit kan er dan toe leiden dat een hele lading producten onbruikbaar wordt. RTP gaat niet alleen om hitte – het gaat ook om nauwkeurige controle van de temperatuur op het niveau van de wafer, zodat de condities in de cleanroom niet worden verstoord.</p> <p><strong>Wat belangrijk is <a href="https://henruite.com">onder</a> het oppervlak</strong> We hebben deze halogeenlampen ontworpen met behulp van kortegolflengte-infraroodlicht en een kwartsomhulsel. Hierdoor is de reactietijd snel en is er minimale thermische vertraging. Er wordt een consistentie van ±0,1°C bereikt over de hele proceszone, wat precies nodig is om de temperatuur tijdens het drogen van de wafer nauwkeurig te beheersen. De lampen zijn geschikt voor gebruik in cleanrooms van klasse 1–100. De materialen en geometrie zijn zo gekozen dat er zo min mogelijk deeltjes ontstaan. De uitgangssterkte van de lampen blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met <a href="https://o-yate.net">minder</a> dan 5% daling in lumensterkte. Hierdoor kun je langdurige processen uitvoeren zonder elke twee weken opnieuw te kalibreren.</p>