http://ir-heating-case.com/nl/tags/post/ Recent content in Post on Infrared Heating Applications Hugo nl Thu, 02 Jul 2026 09:27:37 +0800 http://ir-heating-case.com/nl/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Thu, 02 Jul 2026 09:27:37 +0800 http://ir-heating-case.com/nl/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Verwarmer voor het drogen van CMP wafers"></p> <p>Op de productielijn is een Post-CMP-wafel die uit het slurpbad komt nog steeds voorzien van microdruppeltjes op de gepatenteerde oppervlakken. Hierdoor kan de wafel gemakkelijk worden verwerkt. Watervlekken, opnieuw afzetten van <a href="https://o-yate.net">stoffen</a> en het instorten van het patroon komen meestal pas later voor – wanneer de wafel wordt onderworpen aan lithografie- en etapprocessen. De droogingsverwarmer is dus geen optioneel onderdeel; het is juist het laatste thermische element voordat de wafel de CMP-eenheid verlaat.</p> <p><strong>Wat technisch <a href="https://henruite.com">gezien</a> belangrijk is:</strong> We hebben de droogingsverwarmer ontworpen rondom een kwarts-halogeen-emitter met kortegolflengte-straling. Deze emitter levert energie snel en rechtstreeks af, zodat de uitgangsspanning stabiel blijft. De thermische uniformiteit over het oppervlak van de wafel wordt gehouden bij ±0,1°C, gemeten op een productie-equivalente drager. Hierdoor blijft de thermische balans constant, zelfs tussen de eerste en de laatste wafel.</p>