IR on Infrared Heating Applications

Ceramische eindkap voor IR emitter

Tue, 21 Jul 2026 04:13:57 +0800

Hoe houd je een Class 100-schoonruimte echt schoon?
Wanneer je een Class 100-schoonruimte beheert, is het verwarmen van de ruimte een behoorlijke uitdaging. Het gaat niet alleen om de temperatuur – het gaat ook om de onzichtbare stoffen die vrijkomen.

Standaard IR-lampen zijn hiervoor berucht: ze geven kleine metalen deeltjes af. Als zo’n deeltje op een chip of een optische laag terechtkomt, is dat erg slecht voor de kwaliteit van de producten.

We hebben dit opgelost door hoogzuivere kwartsbuizen te combineren met speciale keramische eindkapjes. Hieronder wordt uitgelegd hoe dit werkt.

Précies IR sensor voor wafer

Tue, 21 Jul 2026 04:06:46 +0800

Stop de brokstukken: houd je gewichten schoon wanneer de IR-lampen faillieten
In een halfgeleiderfabriek met hoge productiedichtheid is het exploderen van een lamp zeker geen klein probleem. Het is een nachtmerrie.
Wanneer een kwartsbuis kapotgaat, spatten er glasscherven en halogengas overal heen. Eén explosie en al je gewichten zijn verkeerd. We hebben veel tijd besteed aan het bedenken van manieren om dit te voorkomen, door te kijken naar hoe de lampen zijn gemaakt en van welke materialen ze bestaan.

Gelijke hitte voor 300mm wafer IR

Tue, 30 Jun 2026 13:07:50 +0800

Op de 300mm-lijn merk je dat er problemen ontstaan wanneer het bakproces niet meer naar behoren verloopt. De randen van de afbeelding worden onregelmatig, en na het ontwikkelen zie je ongewenste afwijkingen. Wanneer de hete zone niet goed werkt, wordt de kwaliteit van de fotoresistent verminderd – dit heeft invloed op de productiekwaliteit. We hebben onze infraroodinstallatie zo ontworpen dat deze dit soort problemen voorkomt, nog voordat ze zich voordoen.

Wat technisch gezien belangrijk is: De array van kortgolfinfraroodemissies is afgestemd op een constante temperatuur over het hele oppervlak van de siliciumplaat: ±0,1°C. Dit blijft het geval tijdens het zachte en harde bakken. De snelle respons van het systeem zorgt ervoor dat de temperatuur precies op het gewenste niveau blijft. De hete zone is compatibel met cleanrooms van klasse 1 tot en met klasse 100. Hij produceert geen deeltjes tijdens het gebruik. Hierdoor is het systeem 24/7 betrouwbaar, zonder onverwachte stilstanden. Bovendien blijven de afmetingen consistent van batch tot batch.