Duurzame oplossingen voor productie van fabricage

Mon, 27 Jul 2026 09:38:56 +0800

Waarom halfgeleiderfabrieken grote ovens vervangen door IR-technologie

De meeste halfgeleiderfabrieken geven die enorme convectieovens op. Dat is logisch. Door de druk op groene energie en de strenge regels rondom loodvrije materialen, werkt de oude manier van werken niet meer.

Het echte voordeel van IR-technologie is dat deze techniek helemaal geen gebruik maakt van lucht. De straling bereikt rechtstreeks het materiaal. Waarom zou je zoveel energie verspillen aan het opwarmen van de wanden van een enorme metalen kast, terwijl je het materiaal waar je mee werkt gewoon kunt opwarmen?

OLED fabrieksdrooglamp

Tue, 23 Jun 2026 00:57:25 +0800

Bij de gebruik van OLED-lithografie is er nauwelijks ruimte voor thermische afwijkingen. Als de temperatuur zelfs maar ±0,5°C afwijkt van het gewenste niveau, leidt dit tot ongelijkmatigheden in de dikte van de fotoresist, en ook de vorm van de resistentoppervlakken verandert. Er is dus een droogingslamp nodig die een constante temperatuur behoudt, in plaats van een lamp die met de tijd afwijkt.

Wat we hebben gebouwd en waarom We hebben de OLED-droogingslamp geplaatst in een kwartsomhulsel, samen met halogeenemitters die kortegolfgolf-infraroodlicht uitstralen. Hierdoor wordt energie snel en rechtstreeks overgedragen naar de fotoresist, zonder dat het onderliggende substraat te veel opwarmt. De heaters zijn zo gepositioneerd dat de temperatuur over het hele waferbord binnen ±0,1°C blijft, en de herhalbaarheid ligt op 0,05°C per cyclus.

Fabricatie on Infrared Heating Applications

Duurzame oplossingen voor productie van fabricage

Waarom halfgeleiderfabrieken grote ovens vervangen door IR-technologie

OLED fabrieksdrooglamp