Komponen pemanas untuk bahan penahan sinar UV ekstrem (EUV)

Sun, 05 Jul 2026 13:15:47 +0800

Pemanasan menggunakan gelombang UV ekstrem: Kebenaran teknikal yang sebenar
Kita membina pemanas jenis EUV ini untuk bersaing dengan jenama-jenama terkemuka dari Amerika dan Jepun. Perbezaannya? Kita dapat memberikan prestasi yang setara, tetapi tanpa membebankan kos pengguna.

Kita tidak pernah mengabaikan prinsip-prinsip fizik dalam reka bentuk pemanas ini. Dalam proses litografi dan pemprosesan bahan resisten, diperlukan suhu yang stabil dan konsisten setiap kali. Itulah yang kita berikan kepada pengguna. Kita mengawal kepadatan tenaga, voltan, dan geometri pemanas agar ia dapat berfungsi dengan stabil, jam demi jam, tanpa sebarang masalah.

Lampu untuk proses pembakaran bahan penolak cahaya UV yang berkuasa tinggi (Deep UV/DUV)

Sun, 28 Jun 2026 06:08:52 +0800

Di bilik pemprosesan, proses pemanasan bahan fotoresist bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan. Ia merupakan titik kawalan yang tidak boleh dipalsukan. Perubahan suhu sebanyak 1°C semasa proses pemanasan akan menyebabkan dimensi kritikal bahan tersebut menjadi tidak tepat, dan ini seterusnya akan menjejaskan kualiti permukaan bahan tersebut. Kami telah mencipta lampu pemanasan jenis Deep UV (DUV) yang mampu mengekalkan suhu yang diperlukan untuk proses pemprosesan—bukan suhu yang ditentukan oleh faktor-faktor lain.

UV on Infrared Heating Applications

Komponen pemanas untuk bahan penahan sinar UV ekstrem (EUV)

Lampu untuk proses pembakaran bahan penolak cahaya UV yang berkuasa tinggi (Deep UV/DUV)