http://ir-heating-case.com/ms/tags/rtp/ Recent content in RTP on Infrared Heating Applications Hugo ms Fri, 26 Jun 2026 05:30:24 +0800 http://ir-heating-case.com/ms/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Fri, 26 Jun 2026 05:30:24 +0800 http://ir-heating-case.com/ms/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Lampu halogen untuk sistem RTP"></p> <p>Di bilik pengeluaran, anda tahu bagaimana keadaannya: perubahan suhu sebanyak 0.5°C semasa proses pembakaran photoresist boleh menyebabkan perubahan pada dimensi penting tersebut dalam <a href="https://henruite.com">skala</a> nanometer, dan ini boleh memusnahkan keseluruhan <a href="https://goldisgood.com">kumpulan</a> wafer yang dihasilkan. RTP bukan sekadar berkaitan dengan haba sahaja; ia juga melibatkan kawalan suhu yang konsisten pada tahap wafer, tanpa mengganggu kebersihan bilik pengeluaran.</p> <p><strong>Apa yang penting di belakang tabir</strong><br> Kami membina lampu halogen ini menggunakan gelombang inframerah pendek dan selubung kuarsa, agar tindak balasnya cepat dengan kelewatan termal yang minimum. Ini membolehkan pengekalan keseragaman suhu pada tahap wafer dalam lingkungan ±0.1°C sepanjang proses pengeluaran. Inilah yang diperlukan untuk mengekalkan suhu yang stabil semasa proses pembakaran. Komponen lampu ini sesuai digunakan di bilik pengeluaran kelas 1–100, dengan bahan dan reka bentuk yang dipilih untuk mengurangkan jumlah zarah halus. Keluaran cahaya tetap stabil selama lebih dari 5,000 jam, dengan penurunan luminous flux kurang dari 5%. Dengan ini, proses pengeluaran dapat berjalan lama tanpa perlu dikalibrasi setiap minggu.</p>