Alat pemanas Aixtron ganti

Fri, 05 Jun 2026 04:26:26 +0800

Di lantai pengeluaran, ruang Aixtron MOCVD tidak memberi anda sebarang kelonggaran. Apabila elemen pemanas mula menyimpang, anda akan menyedarinya dengan segera: ketidaksamaan suhu merentasi susceptor, kebolehulangan antara pengeluaran merosot, dan profil epi yang melayari sehingga anda membuang wafer. Masa henti tidak diukur dalam minit — ia diukur dalam jam. Kami membina elemen pemanas Aixtron sebagai alat ganti untuk meletakkan kawalan thermal kembali di tempatnya, dengan keyakinan yang sama seperti yang asal, kerana masa operasi dan hasil tidak menunggu.

Apa yang penting, secara teknikal

Kami padankan seni bina thermal Aixtron — geometri pemanasan kuarza-halogen atau NIR — yang disesuaikan dengan wattage dan voltan yang tepat, dan disambungkan kepada antara muka penyambung yang ditetapkan. Hasilnya adalah keseragaman suhu wafer pada ±0.1°C dalam keadaan stabil, kadar pemanasan yang cepat tanpa lebihan, dan titik tetapan yang kekal stabil melalui urutan deposisi yang panjang. Bahan dan pembinaan dipilih untuk penggunaan bilik bersih Kelas 1–100, dengan penghasilan zarah sifar dan pengeluaran gas rendah, jadi jumlah zarah kekal dalam had kawalan proses.

Aixtron on Infrared Heating Applications

Alat pemanas Aixtron ganti

Apa yang penting, secara teknikal