Hentikan pembaziran haba dalam bilik vakum anda
Inilah kenyataan sebenar ketika bekerja dalam keadaan vakum: proses konveksi tidak berlaku. Yang tinggal hanyalah radiasi. Jika anda tidak berhati-hati, sebahagian besar tenaga yang digunakan akan hilang ke dinding bilik vakum tersebut. Semakin banyak tenaga yang terbuang, semakin buruklah reka bentuk sistem tersebut.
Itulah sebabnya kita menggunakan reflektor yang dilapisi emas. Ia mungkin kedengaran rumit, tetapi sebenarnya ia sangat mudah. Kita ingin agar tenaga inframerah sampai ke permukaan wafer, bukannya diserap oleh bahan logam seperti keluli.
Mengapa emas?
Kebanyakan orang menggunakan aluminium atau keluli tahan karat yang telah dipolis. Bahan-bahan ini kelihatan cantik, tetapi dalam spektrum inframerah, ia seperti span yang menyerap terlalu banyak tenaga. Kita gantikan bahan tersebut dengan lapisan emas yang berkualiti tinggi. Emas sangat efektif dalam memantulkan gelombang inframerah kembali ke tempat asalnya. Ini membolehkan suhu naik dengan lebih cepat, dan penggunaan tenaga juga dapat dikurangkan.
Memanfaatkan setiap watt yang digunakan
Menjaga suhu yang stabil pada wafer berukuran 300mm merupakan cabaran yang besar. Dengan menggunakan emas untuk mengurangkan kerugian akibat radiasi, anda boleh menurunkan kuasa lampu yang digunakan. Suhu permukaan akan tetap sama, tetapi intensiti tenaga yang digunakan akan berkurangan. Pengeluar kuasa akan bersyukur atas penjimatan tenaga ini.
Kelemahan sistem ini
Namun, sistem ini mempunyai kelemahan. Sistem ini memfokuskan haba secara agresif. Jika posisi lampu salah sedikit saja, akan timbul perbezaan suhu yang drastik. Anda perlu memastikan pengawal suhu dan termokopel berfungsi dengan baik. Selain itu, pastikan sistem penyejukan cukup efektif untuk menangani haba yang dipantulkan. Jika tidak, komponen-komponen lain akan rosak.
Kami merancang sistem ini supaya ia dapat disambungkan terus ke sistem vakum yang sudah ada. Tujuannya adalah untuk memastikan haba sampai tepat ke tempat yang diperlukan, iaitu pada permukaan wafer. Tiada pembaziran tenaga, dan tiada bahagian yang terlalu panas. Hanya haba yang efektif sahaja yang digunakan.