http://ir-heating-case.com/ko/tags/300mm/ Recent content in 300mm on Infrared Heating Applications Hugo ko Tue, 30 Jun 2026 13:07:50 +0800 http://ir-heating-case.com/ko/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Tue, 30 Jun 2026 13:07:50 +0800 http://ir-heating-case.com/ko/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="300mm 웨이퍼용 균일한 열 처리 IR"></p> <p>300mm 웨이퍼를 처리할 때는, 베이킹 과정에서 온도가 일정하지 않아지는 것을 느낄 수 있습니다. 선의 굵기도 변하고, 현상 과정 후에는 이물질이 생기기도 합니다. 히트 존의 온도가 설정된 값과 맞지 않으면, 포토레지스트의 품질이 저하되고, 그 결과 생산성도 떨어집니다. 우리는 이러한 문제가 발생하기 전에 미리 방지할 수 있도록 적외선 시스템을 설계했습니다.</p>