http://ir-heating-case.com/ko/tags/%ED%8F%AC%EC%8A%A4%ED%8A%B8/ Recent content in 포스트 on Infrared Heating Applications Hugo ko Thu, 02 Jul 2026 09:27:36 +0800 http://ir-heating-case.com/ko/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Thu, 02 Jul 2026 09:27:36 +0800 http://ir-heating-case.com/ko/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="CMP 후 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>팹 현장에서, 슬러리에서 나온 포스트CMP 웨이퍼에는 여전히 패턴 부분에 미세한 물방울들이 남아 있습니다. 이런 상태의 웨이퍼는 사실상 언제든지 문제가 발생할 수 있는 상태입니다. 물자국, 재침적 현상, 패턴 붕괴와 같은 문제들은 리소그래피나 에칭 공정을 거칠 때쯤에야 나타나곤 합니다. 따라서 건조 히터는 단순히 ‘유용한 장치’가 아니라, 웨이퍼가 CMP 공정을 떠나기 전 마지막으로 중요한 역할을 하는 장치입니다.</p>