http://ir-heating-case.com/ko/tags/%EC%9E%90%EC%99%B8%EC%84%A0/ Recent content in 자외선 on Infrared Heating Applications Hugo ko Sun, 28 Jun 2026 06:08:52 +0800 http://ir-heating-case.com/ko/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Sun, 28 Jun 2026 06:08:52 +0800 http://ir-heating-case.com/ko/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="심부 자외선(DUV) 레지스트 건조 램프"></p> <p>팹 내에서 포토레지스트를 건조시키는 과정은 단순한 ‘일시 정지’가 아닙니다. 이는 반드시 준수해야 하는 중요한 제어 지점입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 1°C만의 온도 변화라도 발생하면, 치명적인 수치들이 왜곡되고, 회로선의 가장자리가 거칠어집니다. 저희는 공정에 필요한 온도를 유지하기 위해 딥 UV(DUV) 리지스트 베이킹 램프를 설계했습니다. 즉, 장비가 스스로 결정하는 온도가 아니라, 공정에 필요한 온도를 유지하는 것입니다.</p>