http://ir-heating-case.com/ko/tags/%EC%9B%90%EC%9E%90/ Recent content in (원자 on Infrared Heating Applications Hugo ko Sun, 07 Jun 2026 04:08:22 +0800 http://ir-heating-case.com/ko/posts/afm-atomic-force-microscope-heater/ Sun, 07 Jun 2026 04:08:22 +0800 http://ir-heating-case.com/ko/posts/afm-atomic-force-microscope-heater/ <p><img src="http://ir-heating-case.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="AFM(원자력 현미경) 히터"></p> <p>현장에서는 AFM 히터의 0.1°C 드리프트가 단순한 측정 오차 이상의 문제를 일으킨다. 이는 포토레지스트의 소프트 베이크 및 하드 베이크 공정에 영향을 미쳐 전체 열 예산의 균형을 무너뜨릴 수 있다. 열 균일성이 흐트러지면 라인폭 제어와 결함 밀도도 영향을 받는다. 본 AFM 히터는 물리적 요구 조건에 맞춰 온도를 정확히 유지하도록 설계되었으며, 샘플 표면, 스캔 영역 전체, 그리고 Class 1–100 클린룸 내에서 적용 가능하다.</p>